[实用新型]振荡器

权利要求书

1.振荡器，包括基底、驱动部件、绝缘层和滑动部件，其特征在于：所述绝缘层设于所述基底的表面，所述滑动部件设于所述绝缘层上，且所述滑动部件和所述绝缘层的接触面为超滑接触，所述驱动部件包括至少三个驱动件，且三个所述驱动件均设于所述基底内部，初始位置时，所述滑动部件同时与所有所述驱动件有正对面积，分别朝向任意两个相邻的所述驱动件施加电压，所述滑动部件能够被所述驱动部件驱动并发生振荡。

2.如权利要求1所述的振荡器，其特征在于：所述驱动部件包括第一驱动件、第二驱动件和第三驱动件，所述第二驱动件位于所述第一驱动件和所述第三驱动件之间，对第一驱动件和第二驱动件之间输入第一电压，朝向第二驱动件和第三驱动件之间输入第二电压。

3.如权利要求2所述的振荡器，其特征在于：所述第一电压的大于第二电压或者所述第一电压小于所述第二电压。

4.如权利要求2所述的振荡器，其特征在于：所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件在宽度方向上的尺寸相对齐。

5.如权利要求4所述的振荡器，其特征在于：初始位置时，所述滑动部件在宽度方向上与所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件相对齐，且滑动部件同时与所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件均有正对面积。

6.如权利要求2所述的振荡器，其特征在于：在平行于所述滑动部件移动的方向上，所述第二驱动件的横截面面积小于或等于所述第二驱动件，和/或，所述第三驱动件的横截面面积。

7.如权利要求1至6任一项所述的振荡器，其特征在于：所述驱动件为驱动电极。

8.如权利要求1至6任一项所述的振荡器，其特征在于：所述绝缘层的厚度为2nm至100nm。

9.如权利要求1至6任一项所述的振荡器，其特征在于：所述滑动部件采用超滑片，所述超滑片的至少一个表面为原子级光滑的表面。

10.如权利要求1至6任一项所述的振荡器，其特征在于：所述基底的宽度略大于或等于所述驱动部件的宽度。