[实用新型]振荡器

说明书

本实用新型提供了一种振荡器，包括基底、驱动部件、绝缘层和滑动部件，绝缘层设于基底的表面，滑动部件贴合于绝缘层上，且滑动部件和绝缘层的贴合面为超滑接触，驱动部件包括至少三个驱动件，初始位置时，滑动部件同时与所有驱动件有正对面积，朝向驱动部件的任意两个相邻的驱动件施加偏压，利用静电力使得滑动部件能够在绝缘层上水平滑动，即滑动部件能够被驱动部件驱动并发生振荡，形成振荡器，其移动的相对位移很大，且结构相适应，能够在真正的微米尺度上实现振荡功能，由于摩擦力极低且无磨损，可以实现较低的驱动电压、极高的使用寿命和功率处理能力，能够实现100％的范围调频。

技术领域

本实用新型涉及微电子的技术领域，具体涉及一种振荡器。

背景技术

振荡器是用来产生重复电子信号的电子元件，MEMS振荡器是指通过微机电系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶振产品的一个升级更新换代，防震效果是前者的25倍，具有不受振动影响、不易碎的特点。其在微电子领域具有重大应用。

目前振荡器主要有两种：电学式和机械式，其中电学式的振荡器的品质因子一般较低，很难应用到高精度的领域。相比之下，诸如石英振荡器和微机电系统(MEMS)振荡器之类的机械振荡器是基于线性弹性的。由于石英振荡器具有极高的品质因子和极其稳定的频率而广泛用于生产中，但它们与微米或纳米制造技术不兼容，因此难以集成，对微系统中的应用产生了严重的限制。而传统的MEMS振荡器，其通过应变来产生位移，导致相对位移较小，总体尺寸难以真正降到微米量级。

此外，目前大多数的电气和机械振荡器具有固定的谐振频率，难以调谐。对于逻辑设备和需要信号跟踪和跳频的机械信号处理，可能需要在短时间尺度上进行频率调谐。现有技术中，已经提出了一些技术来调谐振荡器的谐振频率，但是现有的振荡器的调谐方法都是基于原始的机械振荡器，通过产生附加力、压电、电热或静电原理来改变刚度，具有可调谐谐振的范围窄和能量消耗大的缺点，无法达到宽可调谐振范围的谐振器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种振荡器，以解决现有技术中振荡器存在可调谐谐振范围窄和能量消耗大的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种振荡器，包括基底、驱动部件、绝缘层和滑动部件，所述绝缘层设于所述基底的表面，所述滑动部件设于所述绝缘层上，且所述滑动部件和所述绝缘层的接触面为超滑接触，所述驱动部件包括至少三个驱动件，且三个所述驱动件均设于所述基底内部，初始位置时，所述滑动部件同时与所有所述驱动件有正对面积，分别朝向任意两个相邻的所述驱动件施加电压，所述滑动部件能够被所述驱动部件驱动并发生振荡。

进一步地，所述驱动部件包括第一驱动件、第二驱动件和第三驱动件，所述第二驱动件位于所述第一驱动件和所述第三驱动件之间，对第一驱动件和第二驱动件之间输入第一电压，朝向第二驱动件和第三驱动件之间输入第二电压。

进一步地，所述第一电压的大于第二电压或者所述第一电压小于所述第二电压。

进一步地，所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件在宽度方向上的尺寸相对齐。

进一步地，初始位置时，所述滑动部件在宽度方向上与所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件相对齐，且滑动部件同时与所述第一驱动件、所述第二驱动件和所述第三驱动件均有正对面积。

进一步地，在平行于所述滑动部件移动的方向上，所述第二驱动件的横截面面积小于或等于所述第二驱动件，和/或，所述第三驱动件的横截面面积。

进一步地，所述驱动件为驱动电极。

进一步地，所述绝缘层的厚度为2nm至100nm。

进一步地，所述滑动部件采用超滑片，所述超滑片的至少一个表面为原子级光滑的表面。

进一步地，所述基底的宽度略大于或等于所述驱动部件的宽度。