[实用新型]一种硅片平坦度测试设备机械手有效
| 申请号： | 202022275948.1 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213706991U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 谢艳;杨春雪;袁祥龙;裴坤羽;武卫;刘建伟;由佰玲;刘园;孙晨光;王彦君;祝斌;刘姣龙;常雪岩;张宏杰;刘秒;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 平坦 测试 设备 机械手 | ||
1.一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于，包括：
机械手主体，用于伸入FOSB类片盒内取出和放回硅片；
支撑装置，用于支撑硅片的所述支撑装置设置在所述机械手主体上；
推出装置，推出所述硅片的所述推出装置设置在所述机械手主体上；
固定装置，固定整个机械手在平坦度测试设备上的所述固定装置设置在所述机械手主体上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于：所述机械手主体前端为内凹设计，内凹两侧的距离小于所述FOSB类片盒内硅片卡槽的宽度。
3.根据权利要求1所述的一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于：所述支撑装置包括第一垫片和第二垫片，用于顶住所述硅片的所述第一垫片设置在所述机械手主体的前部；用于支撑所述硅片的所述第二垫片设置在所述机械手主体的后部。
4.根据权利要求3所述的一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于：所述第一垫片与所述第二垫片之间的距离小于所述硅片的直径。
5.根据权利要求3所述的一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于：所述第一垫片的个数至少为两个，距离所述机械手主体边缘处最近的两个垫片之间的距离小于所述硅片的直径。
6.根据权利要求3所述的一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于：所述第二垫片的个数至少为两个，距离所述机械手主体边缘处最近的两个垫片之间的距离小于所述硅片的直径。
7.根据权利要求1所述的一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于：所述推出装置包括推出并夹住所述硅片的推板，设置在所述机械手主体的后部。
8.根据权利要求1所述的一种硅片平坦度测试设备机械手，其特征在于：所述固定装置包括固定整个机械手在平坦度测试设备上的螺栓，设置在所述机械手主体上。
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