[实用新型]一种硅片平坦度测试设备机械手有效

申请号：	202022275948.1	申请日：	2020-10-14
公开（公告）号：	CN213706991U	公开（公告）日：	2021-07-16
发明（设计）人：	谢艳;杨春雪;袁祥龙;裴坤羽;武卫;刘建伟;由佰玲;刘园;孙晨光;王彦君;祝斌;刘姣龙;常雪岩;张宏杰;刘秒;吕莹;徐荣清	申请（专利权）人：	天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
主分类号：	B65G47/90	分类号：	B65G47/90
代理公司：	天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213	代理人：	栾志超
地址：	300384 天津市滨海***	国省代码：	天津;12
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摘要：
搜索关键词：	一种硅片平坦测试设备机械手
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【说明书】：

本实用新型提供一种硅片平坦度测试设备机械手，包括机械手主体，用于伸入FOSB类片盒内取出和放回硅片；支撑装置，用于支撑硅片的所述支撑装置设置在所述机械手主体上；推出装置，推出所述硅片的所述推出装置设置在所述机械手主体上；固定装置，固定整个机械手在平坦度测试设备上的所述固定装置设置在所述机械手主体上。本实用新型的有益效果是有效的解决装在FOSB类片盒内的硅片无法直接在平坦度测试设备上上载测试，必须通过转换器将硅片导入FOUP类片盒内再测试，浪费时间降低测试产能的问题。

技术领域

本实用新型属于新能源半导体领域，尤其是涉及一种硅片平坦度测试设备机械手。

背景技术

目前硅片平坦度测试设备在使用过程中发现只有FOUP类片盒可以与设备的机械手相匹配，使用FOSB类片盒测试时会发生机械手撞击片盒的情况。这种情况是由于FOUP与FOSB内硅片卡槽不一致导致。因此装在FOSB类片盒内的硅片无法直接在平坦度测试设备上上载测试，必须通过转换器将硅片导入FOUP类片盒内再测试，这样会浪费时间降低测试产能。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种硅片平坦度测试设备机械手，有效的解决装在FOSB类片盒的硅片无法直接在平坦度测试设备上上载测试，必须通过转换器将硅片导入FOUP类片盒内再测试，浪费时间降低测试产能的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种硅片平坦度测试设备机械手，包括：机械手主体，用于伸入FOSB类片盒内取出和放回硅片；支撑装置，用于支撑硅片的所述支撑装置设置在所述机械手主体上；推出装置，推出并夹住所述硅片的所述推出装置设置在所述机械手主体上；固定装置，固定整个机械手在平坦度测试设备上的所述固定装置设置在所述机械手主体上。

优选地，所述机械手主体前端为内凹设计，内凹两侧的距离小于所述FOSB类片盒内硅片卡槽的宽度。

优选地，所述支撑装置包括第一垫片和第二垫片，用于顶住所述硅片的所述第一垫片设置在所述机械手主体的前部；用于支撑所述硅片的所述第二垫片设置在所述机械手主体的后部。

优选地，所述第一垫片与所述第二垫片之间的距离小于所述硅片的直径。

优选地，所述第一垫片的个数至少为两个，距离所述机械手主体边缘处最近的两个垫片之间的距离小于所述硅片的直径。

优选地，所述第二垫片的个数至少为两个，距离所述机械手主体边缘处最近的两个垫片之间的距离小于所述硅片的直径。

优选地，所述推出装置包括推出并夹住所述硅片的推板，设置在所述机械手主体的后部。

优选地，所述固定装置包括固定整个机械手在平坦度测试设备上的螺栓，设置在所述机械手主体上。

由于机械手前端内凹设计，内凹两侧距离小于FOSB类片盒内硅片卡槽的宽度，使得机械手可以刚好从FOSB类片盒内取出硅片，解决现有机械手与FOSB类片盒内硅片卡槽不匹配、需要利用转换器将硅片导入FOUP类片盒再测试的问题，有效利用时间，提高测试成本产能。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种硅片平坦度测试设备机械手的结构示意图

图中：

1、第一垫片 2、机械手主体 3、第二垫片