[实用新型]非接触式硅片运送装置

权利要求书

1.一种非接触式硅片运送装置，其特征在于：包括安装于机架上的底板（1）、支座（2）、传输电机（3）和对称设置于支座（2）两侧的传输皮带（4），所述支座（2）安装于底板（1）的上表面上，用于驱动所述传输皮带（4）的传输电机（3）安装于支座（2）上，用于传输料片（36）的所述传输皮带（4）沿运料方向设置；

所述传输电机（3）的输出轴上安装有一主驱动轮（5），所述支座（2）上转动安装有一第一转轴（6），此第一转轴（6）的两端分别自支座（2）两侧向外伸出，位于主驱动轮（5）同侧的第一转轴（6）一端上安装有一从驱动轮（7），此从驱动轮（7）与主驱动轮（5）通过同步带传动连接；

所述第一转轴（6）上并位于支座（2）两侧分别安装有一第一转轮（8），所述支座（2）的两侧分别转动安装有若干个第二转轮（9），一活动板（24）可滑动地安装于支座（2）上方并可沿运料方向往复运动，此活动板（24）靠近来料区一端的两个侧端面上分别安装有一可转动的第三转轮（25），位于支座（2）同一侧的第一转轮（8）、第二转轮（9）、第三转轮（25）通过传输皮带（4）传动连接，所述第三转轮（25）的上表面与同侧的一个第二转轮（9）的上表面齐平，使得连接于上表面齐平的第三转轮（25）与第二转轮（9）之间的传输皮带（4）呈可供与料片（36）接触的水平传输面；

所述传输皮带（4）外侧分别安装有一气缸（20），两个所述气缸（20）相对设置，且每个气缸（20）的活塞杆上连接有一沿运料方向设置的条形挡板（21），从而使得两个此条形挡板（21）面对面设置于传输皮带（4）的外侧，所述条形挡板（21）的上端面高于传输皮带（4）与料片接触的表面；

所述支座（2）上可滑动地安装有一活动块（26），此活动块（26）的上表面与活动板（24）远离第三转轮（25）一端的下表面连接，使得该活动块（26）与活动板（24）同步运动，所述活动块（26）的一个侧端面上安装有一可转动的支撑轮（27），此支撑轮（27）与同侧的第一转轮（8）、第二转轮（9）、第三转轮（25）通过传输皮带（4）传动连接，所述支撑轮（27）与传输皮带（4）的一表面接触，所述第三转轮（25）与传输皮带（4）的另一表面接触；

所述传输皮带（4）靠近来料区一端的正下方设置有一可沿竖直方向运动的上料座（37），此上料座（37）的外侧设置有一用于驱动上料座（37）上下运动的上料驱动组件（38），所述上料座（37）上方放置有一料篮（39），若干个沿竖直方向间隔排列的料片（36）依次装载于此料篮（39）内，所述传输皮带（4）的一端可伸入料篮（39）内；

所述传输皮带（4）远离来料区一端的外侧分别设置有一立板（31），两个所述立板（31）面对面平行设置，两个立板（31）各自与另一个立板（31）相对的内表面上具有若干个沿竖直方向间隔设置的第二凸条（32），从而在相邻第二凸条（32）间形成一凹槽，并在相对形成于两个立板（31）上的凹槽之间形成一供料片（36）嵌入的置物区；

两个所述立板（31）的上端面之间通过一顶支撑板（33）连接，一驱动组件（34）与两个立板（31）中的至少一个连接，用于驱动两个立板（31）沿竖直方向同步运动。

2.根据权利要求1所述的非接触式硅片运送装置，其特征在于：所述气缸（20）通过一安装板（22）与支座（2）连接。

3.根据权利要求1所述的非接触式硅片运送装置，其特征在于：所述条形挡板（21）的长度与传输皮带（4）用于运料一段的长度比值为1：1~3。

4.根据权利要求1所述的非接触式硅片运送装置，其特征在于：所述上料驱动组件（38）包括电机、竖直设置的丝杆和通过螺纹套接与丝杆上的活动块，所述电机的输出轴与丝杆连接，所述活动块与上料座（37）连接。

5.根据权利要求1所述的非接触式硅片运送装置，其特征在于：所述活动块（26）与支座（2）之间通过滑轨与滑块连接。