[实用新型]晶圆表面宏观检测装置

权利要求书

1.一种晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，包括：

晶圆吸盘，开设有气道，所述气道用于连接抽气设备，使得气道产生可吸附晶圆的负气压；

自转机构，与晶圆吸盘连接，用于带动晶圆吸盘作自转运动；

X轴旋转机构，与自转机构连接，用于带动自转机构作X轴旋转运动；

移动机构，包括直线模组，以及与直线模组连接的支撑杆，所述直线模组用于带动支撑杆作往复运动，所述支撑杆与X轴旋转机构铰接连接；

Y轴旋转机构，包括升降组件，以及与升降组件连接的第一铰接件，所述第一铰接件与X轴旋转机构铰接连接，所述升降组件设于支撑杆上，所述升降组件用于带动第一铰接件作往复运动，使得X轴旋转机构绕支撑杆作Y轴旋转运动。

2.如权利要求1所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述自转机构包括空心轴电机和吸盘连接轴，所述空心轴电机的空心轴与晶圆吸盘的气道通过吸盘连接轴连接，所述空心轴电机的空心轴还用于连接抽气设备。

3.如权利要求2所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述自转机构还包括限位板和旋转式快速接头，所述空心轴电机的空心轴通过旋转式快速接头与抽气设备连接，所述限位板用于旋转式快速接头的限位。

4.如权利要求1所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述X轴旋转机构包括X轴电机、第一安装座和第二安装座，所述X轴电机设于第二安装座且通过第一安装座与自转机构连接，所述第二安装座设有第二铰接件，所述第二铰接件与支撑杆铰接连接。

5.如权利要求4所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述第二安装座设有若干第一传感器，所述第一安装座设有第一感应片，所述第一传感器用于第一感应片的位置检测。

6.如权利要求5所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述第二安装座开设有第一安装孔和第二安装孔，所述第一传感器通过第一安装孔和第二安装孔进行固定，所述第二安装孔为弧形孔。

7.如权利要求1所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述升降组件包括连接的丝杆电机和丝杆螺母，所述丝杆螺母通过第三安装座与第一铰接件连接。

8.如权利要求7所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述丝杆电机连接有第四安装座，所述第四安装座设有第三铰接件，所述第三铰接件与支撑杆铰接连接。

9.如权利要求8所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述第四安装座设有滑轨，所述第三安装座设有滑块，所述滑块设于滑轨。

10.如权利要求9所述的晶圆表面宏观检测装置，其特征在于，所述第四安装座还设有若干第二传感器，所述第三安装座设有第二感应片，所述第二传感器用于第二感应片的位置检测。