[实用新型]晶圆表面宏观检测装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆表面宏观检测装置，晶圆吸盘，开设有气道；自转机构，与晶圆吸盘连接，用于带动晶圆吸盘作自转运动；X轴旋转机构，与自转机构连接，用于带动自转机构作X轴旋转运动；移动机构，包括直线模组，以及与直线模组连接的支撑杆，所述直线模组用于带动支撑杆作往复运动，支撑杆与X轴旋转机构铰接连接；Y轴旋转机构，包括升降组件，以及与升降组件连接的第一铰接件，第一铰接件与X轴旋转机构铰接连接，升降组件设于支撑杆上，升降组件用于带动第一铰接件作往复运动，使得X轴旋转机构绕支撑杆作Y轴旋转运动。本实用新型提供的晶圆表面宏观检测装置，可实现晶圆多个方向的旋转，方便对晶圆进行宏观检测，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及电子产品加工生产技术领域，具体地说，涉及一种晶圆表面宏观检测装置。

背景技术

随着手机等智能设备对芯片需求的不断增长，智能终端厂商数量和质量要求也越来越高，导致上游芯片厂家检测和生产投入越来越多，自动化的需求越来越急迫。

目前国内各大智能终端厂商对晶圆表面宏观检测的自动化测试没有很好的解决方案，主要还是依靠人工进行抽检的测试，其人工成本过高，且效率太低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆表面宏观检测装置，可实现晶圆多个方向的旋转，方便对晶圆进行宏观检测，提高生产效率。

本实用新型公开的晶圆表面宏观检测装置所采用的技术方案是:

一种晶圆表面宏观检测装置，包括：晶圆吸盘，开设有气道，所述气道用于连接抽气设备，使得气道产生可吸附晶圆的负气压；自转机构，与晶圆吸盘连接，用于带动晶圆吸盘作自转运动；X轴旋转机构，与自转机构连接，用于带动自转机构作X轴旋转运动；移动机构，包括直线模组，以及与直线模组连接的支撑杆，所述直线模组用于带动支撑杆作往复运动，所述支撑杆与X轴旋转机构铰接连接；Y轴旋转机构，包括升降组件，以及与升降组件连接的第一铰接件，所述第一铰接件与X轴旋转机构铰接连接，所述升降组件设于支撑杆上，所述升降组件用于带动第一铰接件作往复运动，使得X轴旋转机构绕支撑杆作Y轴旋转运动。

作为优选方案，所述自转机构包括空心轴电机和吸盘连接轴，所述空心轴电机的空心轴与晶圆吸盘的气道通过吸盘连接轴连接，所述空心轴电机的空心轴还用于连接抽气设备。

作为优选方案，所述自转机构还包括限位板和旋转式快速接头，所述空心轴电机的空心轴通过旋转式快速接头与抽气设备连接，所述限位板用于旋转式快速接头的限位。

作为优选方案，所述X轴旋转机构包括X轴电机、第一安装座和第二安装座，所述X轴电机设于第二安装座且通过第一安装座与自转机构连接，所述第二安装座设有第二铰接件，所述第二铰接件与支撑杆铰接连接。

作为优选方案，所述第二安装座设有若干第一传感器，所述第一安装座设有第一感应片，所述第一传感器用于第一感应片的位置检测。

作为优选方案，所述第二安装座开设有第一安装孔和第二安装孔，所述第一传感器通过第一安装孔和第二安装孔进行固定，所述第二安装孔为弧形孔。

作为优选方案，所述升降组件包括连接的丝杆电机和丝杆螺母，所述丝杆螺母通过第三安装座与第一铰接件连接。

作为优选方案，所述丝杆电机连接有第四安装座，所述第四安装座设有第三铰接件，所述第三铰接件与支撑杆铰接连接。

作为优选方案，所述第四安装座设有滑轨，所述第三安装座设有滑块，所述滑块设于滑轨。

作为优选方案，所述第四安装座还设有若干第二传感器，所述第三安装座设有第二感应片，所述第二传感器用于第二感应片的位置检测。