[实用新型]一种半导体溅合设备专用测试装置

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是一种半导体溅合设备专用测试装置，包括框架本体、悬臂梁、检测模块、第一液体测试组件、第二液体测试组件、第一气体测试组件和第二气体测试组件，所述框架本体包括底板、第一竖板、第二竖板和辅助板，所述第一竖板与第二竖板分别竖直安装在底板的两侧。本实用新型优点在于：将需测试的气体通过第一进气口输送至第一连接管内，并将第一连接管的另一端连接第一气体流量传感器，使得第一气体流量传感器可以对第一连接管的气体进行测试，测试完成后，通过连接第一输液接口，将清洁液体输送至第一连接管内，对第一连接管内进行清洁，防止因第一连接管内残留的测试气体，而影响后续测试的结果。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是一种半导体溅合设备专用测试装置。

背景技术

在半导体测试领域中，半导体测试装置在测试气体时，会出现因半导体测试装置没有进行彻底的清洁工作，使得测试气体残留在测试管内，从而导致后续其他气体测试时被残留气体污染，造成测试结果不准确。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种半导体溅合设备专用测试装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：一种半导体溅合设备专用测试装置，包括框架本体、悬臂梁、检测模块、第一液体测试组件、第二液体测试组件、第一气体测试组件和第二气体测试组件，所述框架本体包括底板、第一竖板、第二竖板和辅助板，所述第一竖板与第二竖板分别竖直安装在底板的两侧，所述底板顶部开设有多个方孔，所述辅助板竖直安装在底板的一端，且辅助板的一端与第一竖板的一端固定连接，所述第一液体测试组件和第二液体测试组件分别安装在底板顶部两侧，所述第一气体测试组件安装在底板顶部的一端，所述第二气体测试组件安装在底板底部的一端，所述悬臂梁和测试模块均安装在辅助板上。

优选的，所述第一液体测试组件包括第一进液口、第一测试管、第一加热块、延伸管、第一调节管、第一调节把手和第一固定块，所述第一进液口竖直位于底板顶部，所述第一调节管的一端与第一进液口的底部固定连接，所述第一调节管的另一端与延伸管的一端固定连接，所述第一调节把手安装在第一调节管顶部，所述延伸管的另一端与第一测试管的一端固定连接，所述第一固定块套设在第一测试管的另一端，且第一固定块底部与底板顶部固定连接，所述第一测试管外壁与第一加热块顶部固定连接，且第一加热块位于一个方孔内。

优选的，所述第二液体测试组件包括第二进液口、第二测试管、第二加热块、第二调节管、第二调节把手和第二固定块，所述第二进液口竖直位于底板顶部，所述第二调节管的一端与第二进液口的底部固定连接，所述第二调节管的另一端与第二测试管的一端固定连接，所述第二调节把手安装在第二调节管顶部，所述第二固定块套设在第二测试管的一端，且第二固定块底部与底板顶部固定连接，所述第二测试管外壁与第二加热块顶部固定连接，且第二加热块位于另一个方孔内。

优选的，所述第一气体测试组件包括第一连接块、两个第一进气口、两个第一连接管、两个第一输液接口和两个第一气体流量传感器，所述第一连接块安装在底板顶部一端，且第一连接块的底部与底板的顶部固定连接，两个所述第一连接管的一端对称安装在第一连接块的侧壁上，两个所述第一进气口分别安装在两个第一连接管的顶部，两个所述第一输液接口分别安装在第一连接块的两端，两个所述第一气体流量传感器的一端分别与两个第一连接管的另一端连接。

优选的，所述第二气体测试组件包括第二连接块、两个第二进气口、两个第二连接管、两个第二输液接口和两个第二气体流量传感器，所述第二连接块安装在底板底部一端，且第二连接块的顶部与底板的底部固定连接，两个所述第二连接管的一端对称安装在第二连接块的侧壁上，两个所述第二进气口分别安装在两个第二连接管的顶部，且两个第二进气口分别位于两个方孔正下方，两个所述第二输液接口分别安装在第二连接块的两端，两个所述第二气体流量传感器的一端分别与两个第二连接管的另一端连接。

优选的，所述第一竖板的外壁上开设有多个固定孔，所述第一竖板的外壁上设有延伸板，所述延伸板顶部和第二竖板顶部均安装有连接插孔。