[实用新型]一种调节针座及探针台有效
| 申请号： | 202022300805.1 | 申请日： | 2020-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN213457024U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 杨应俊;颜建武;王胜利 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调节 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种调节针座，其特征在于：
旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；
探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；
吹气部安装于机架，且吹气部的气嘴朝向滚轮，气嘴喷出的气体使探针安装部沿直线导轨限定的方向通过滚轮止抵于凸轮。
2.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：滚轮的轴线与凸轮的轴线共面所在的平面平行于直线导轨限定的方向。
3.根据权利要求2所述的调节针座，其特征在于：所述吹气部为气浮装置。
4.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：所述机架绕旋转电机的输出轴轴线套设于旋转电机，所述直线导轨沿机架延伸到旋转电机的两侧。
5.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：所述滚轮为滚动轴承。
6.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：所述探针安装部通过第一调节部安装有第一测试探针，所述探针安装部通过第二调节部安装有第二测试探针。
7.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：所述吹气部连通有润滑油泵。
8.根据权利要求1所述的调节针座，其特征在于：滚轮的轴线与凸轮的轴线共面所在的平面与直线导轨限定的方向重合。
9.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括上述权利要求1-8任意一项所述的调节针座。
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