[实用新型]一种调节针座及探针台

说明书

本实用新型提出一种调节针座及探针台。一种调节针座，旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；吹气部安装于机架，且吹气部的气嘴朝向滚轮，气嘴喷出的气体使探针安装部沿直线导轨限定的方向通过滚轮止抵于凸轮。提升凸轮与滚轮接触的稳定性，提升凸轮驱动探针安装部运动的位置精度。

技术领域

本实用新型涉及一种调节针座及探针台。

背景技术

对半导体芯粒进行批量测试时，为提升效率需要在上一颗芯粒测试完成后将测试探针升起远离已测试的芯粒；当下一颗芯粒到达测试位置时，该测试探针下降止抵于芯粒以完成测试；对测试探针的上升和下降的控制一般方案采用凸轮止抵安装有测试探针的机构完成。

为保证测试探针的位置精度，需要保证凸轮与探针安装部接触，常规方案是采用弹簧结构两端分别连接于探针安装部和机架，在弹簧的作用力下，使探针安装部止抵于凸轮。

然而，弹簧由于自身具有的弹性和疲劳寿命，造成探针安装部容易与凸轮分离；当采用弹性系数更大的弹簧时，探针安装部与凸轮之间因作用力太大而造成磨损。

实用新型内容

为至少部分解决上述技术问题，本实用新型提出一种调节针座及探针台。

本实用新型的技术方案为：一种调节针座，

旋转电机安装于机架，所述旋转电机的输出轴连接有凸轮；

探针安装部通过直线导轨连接于机架，且探针安装部枢接有滚轮，旋转电机驱动凸轮旋转通过滚轮带动探针安装部沿直线导轨运动；

吹气部安装于机架，且吹气部的气嘴朝向滚轮，气嘴喷出的气体使探针安装部沿直线导轨限定的方向通过滚轮止抵于凸轮。

进一步的，滚轮的轴线与凸轮的轴线共面所在的平面平行于直线导轨限定的方向。

进一步的，所述吹气部为气浮装置。

进一步的，所述机架绕旋转电机的输出轴轴线套设于旋转电机，所述直线导轨沿机架延伸到旋转电机的两侧。

进一步的，所述滚轮为滚动轴承。

进一步的，所述探针安装部通过第一调节部安装有第一测试探针，所述探针安装部通过第二调节部安装有第二测试探针。

进一步的，所述吹气部连通有润滑油泵。

进一步的，滚轮的轴线与凸轮的轴线共面所在的平面与直线导轨限定的方向重合。

一种探针台，所述探针台包括上述调节针座。

本实用新型的有益效果在于：提升凸轮与滚轮接触的稳定性，提升凸轮驱动探针安装部运动的位置精度。

附图说明

图1为本实用新型调节针座结构示意图；

图2为直线导轨、凸轮、滚轮相对位置关系示意图一；

图3为直线导轨、凸轮、滚轮相对位置关系示意图二；

图4为直线导轨、凸轮、滚轮相对位置关系示意图三；

图5为直线导轨延伸到旋转电机两侧示意图；

图6为安装有第一测试探针和第二测试探针的探针安装部示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1所示，一种调节针座100，用于对LED芯粒或其它元器件进行测试，