[实用新型]晶圆盒调平装置

权利要求书

1.一种晶圆盒调平装置，其特征在于，包括平台组件以及第一调节组件，所述第一调节组件的一端用于承载晶圆盒，另一端转动地安装于所述平台组件，所述第一调节组件能够相对所述平台组件升降，并带动所述晶圆盒相对所述平台组件运动，以调节所述晶圆盒相对所述平台组件的位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述第一调节组件的数量为多组，多组所述第一调节组件以阵列方式布置于所述平台组件上，且每组所述第一调节组件能够独立地相对所述平台组件升降。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述第一调节组件包括第一调节件以及第一锁紧件，所述平台组件上开设有第一调节孔，所述第一调节件一端安装于所述第一调节孔内，所述晶圆盒安装于所述第一调节件的另一端，所述第一调节件能够沿着所述第一调节孔的轴线方向升降，所述第一锁紧件套设于所述第一调节件，用于锁紧调节后的所述第一调节件。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述晶圆盒调平装置还包括第二调节组件，所述第二调节组件设于所述平台组件上，用于调整所述平台组件的水平度。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述第二调节组件包括第二调节件以及第二锁紧件，所述平台组件包括平台以及底板；

所述底板上开设有第二调节孔，所述第二调节件一端安装于所述第二调节孔内，另一端连接所述平台，所述第二调节件能够沿着所述第二调节孔的轴线方向升降，以带动所述平台相对所述底板运动；所述第二锁紧件套设于所述第二调节件，用于锁紧调节后的所述第二调节件。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述晶圆盒调平装置还包括翻转组件，所述翻转组件的一端固定于所述底板，另一端与所述平台转动连接，以使所述平台通过所述翻转组件能够相对所述底板翻转。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述翻转组件包括转轴座及连接座，所述转轴座安装于所述平台上，所述连接座的一端固定于与所述底板，另一端与所述转轴座转动连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述翻转组件还包括限位块，所述限位块安装于所述连接座上，并能够相对所述连接座移动，并在所述转轴座翻转至预定角度时，能够对所述转轴座进行限位。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述限位块开设有通槽，所述晶圆盒调平装置还包括第四锁紧件，所述第四锁紧件穿设于所述通槽并与所述连接座固定连接，且能在所述限位块相对所述连接座移动至预定位置时锁紧所述限位块。

10.根据权利要求8所述的晶圆盒调平装置，其特征在于，所述转轴座与所述连接座连接的一端具有第一斜面，所述限位块具有第二斜面，随所述转轴座的翻转，所述第一斜面能够与所述第二斜面配合，以限位所述转轴座。