[实用新型]硅棒研磨机

权利要求书

1.一种硅棒研磨机，其特征在于，包括：

机座，具有硅棒加工平台；所述硅棒加工平台设有等待区位、第一加工区位以及第二加工区位；

硅棒装载装置，用于将待研磨的硅棒装载至等待区位；其中，位于等待区位上的硅棒的轴心线与预定中心线对齐；

第一转移装置，包括第一硅棒夹具、沿转移方向设置的第一转移导轨、以及用于驱动所述第一硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第一转移导轨移动并在等待区位、第一加工区位、以及第二加工区位之间转移的第一驱动机构；其中，所述第一硅棒夹具的夹持中心与预定中心线对齐；

第二转移装置，包括第二硅棒夹具、沿转移方向设置的第二转移导轨、以及用于驱动所述第二硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第二转移导轨移动并在等待区位、第一加工区位、以及第二加工区位之间转移的第二驱动机构；其中，所述第二硅棒夹具的夹持中心与预定中心线对齐；

粗磨装置，设于所述硅棒加工平台的第一加工区位处，用于对所述第一转移装置中第一硅棒夹具所夹持的硅棒或者所述第二转移装置中第二硅棒夹具所夹持的硅棒进行粗磨作业；以及

精磨装置，设于所述硅棒加工平台的第二加工区位处，用于对所述第一转移装置中第一硅棒夹具所夹持的硅棒或者所述第二转移装置中第二硅棒夹具所夹持的硅棒进行精磨作业。

2.根据权利要求1所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述硅棒装载装置包括：

硅棒承载结构，用于承载待研磨的硅棒；

对中调节机构，用于调节所述待研磨的硅棒的位置以使其轴心线与预定中心线对应；以及

进给驱动机构，用于驱动所述硅棒承载结构及其承载的所述待研磨的硅棒沿进给方向移动至等待区位，所述进给方向与转移方向相正交。

3.根据权利要求2所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述硅棒承载结构包括承载底座和承载部件，所述对中调节机构包括垂向升降机构，用于驱动所述承载部件及其承载的所述待研磨的硅棒相对所述承载底座作垂向升降运动以使得所述待研磨的硅棒的轴心线与预定中心线在垂向上对齐。

4.根据权利要求3所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述垂向升降机构包括：

垂向升降导向部，用于设置所述承载部件；以及

垂向升降驱动单元，用于驱动所述承载部件及其承载的所述待研磨的硅棒沿着所述垂向升降导向部作升降移动。

5.根据权利要求2所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述硅棒承载结构包括承载底座和承载部件，所述对中调节机构包括斜向升降机构，用于驱动所述承载部件及其承载的所述待研磨的硅棒相对所述承载底座作斜向升降运动以使得所述待研磨的硅棒的轴心线与预定中心线在垂向上对齐。

6.根据权利要求5所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述斜向升降机构包括：

斜向升降导轨，设于所述承载底座；

滑块，设于所述承载部件；以及

斜向升降驱动单元。

7.根据权利要求6所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述斜向升降驱动单元包括：

驱动电机；以及

斜向设置的同步带组件，与所述承载部件关联且受所述驱动电机控制。

8.根据权利要求6所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述斜向升降驱动单元包括：驱动电机以及斜向设置且由所述驱动电机驱动的丝杆组件，或者，驱动电机以及斜向设置且由所述驱动电机驱动的齿轮齿条传动组件。

9.根据权利要求3或5所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述承载部件还设有硅棒保持机构。

10.根据权利要求2所述的硅棒研磨机，其特征在于，所述硅棒装载装置还包括居中调节机构，用于调节所述待研磨的硅棒在转移方向上的位置以使其位于所述硅棒承载结构的居中区域。