[实用新型]硅棒研磨机有效
申请号: | 202022310954.6 | 申请日: | 2020-10-16 |
公开(公告)号: | CN213970498U | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 苏静洪;卢建伟;李鑫;钱春军;曹奇峰 | 申请(专利权)人: | 天通日进精密技术有限公司 |
主分类号: | B24B27/00 | 分类号: | B24B27/00;B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34 |
代理公司: | 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 | 代理人: | 张明;王再朝 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨机 | ||
本申请公开一种硅棒研磨机,包括机座、硅棒装载装置、第一转移装置、第二转移装置、粗磨装置、以及精磨装置,其是将粗磨装置与精磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位,设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置与第二转移装置,并为第一转移装置和第二转移装置均配置硅棒夹具与驱动机构,通过协调控制第一转移装置、第二转移装置与粗磨装置、精磨装置,使得在同一时刻所述硅棒研磨机粗磨装置与精磨装置均处于工作状态,在保持硅棒研磨机的尺寸规格与成本的基础上大幅提升研磨作业效率,缩减了研磨作业耗时,提升了经济效益。
技术领域
本申请涉及硅工件加工技术领域,特别是涉及一种硅棒研磨机。
背景技术
目前,随着社会对绿色可再生能源利用的重视和开放,光伏太阳能发电领域越来越得到重视和发展。光伏发电领域中,通常的晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的,这种硅片从提拉或浇铸的硅锭后通过多线锯切割及后续加工而成。
现有硅片的制作流程,以单晶硅产品为例,一般地,大致的作业工序可包括:先使用硅棒截断机对原初的长硅棒进行截断作业以形成多段短硅棒;截断完成后,使用硅棒开方机对截断后的短硅棒进行开方作业后形成单晶硅棒;再对各个硅棒进行磨面、倒角等加工作业,使得硅棒的表面整形达到相应的平整度及尺寸公差要求;后续再对硅棒进行切片作业以得到硅片。
在利用硅棒加工设备对硅棒进行相应加工作业(例如开方作业、研磨作业等)时,需先对要装载的硅棒实施位置校准,所述校准可例如校准硅棒的轴心线。而在相关技术中,没有专门的硅棒轴心线校准装置或者已有的硅棒轴心线校准装置结构复杂。
另外,在对硅棒进行磨面、倒角的工序中必须经由粗磨与精磨两个过程,装载单根硅棒依次进行粗磨、精磨后将其移送卸载,再对另一硅棒进行装载、研磨(粗磨和精磨)与卸载,在通常的大批量加工中硅棒研磨机重复这一加工过程,硅棒研磨机的研磨磨具有大量时间处于空闲状态,研磨效率低下,影响硅棒加工的经济效益。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点,本申请的目的在于提供一种硅棒研磨机,用于解决现有技术中存在的加工效率低下等问题。
为实现上述目的及其他相关目的,本申请的第一方面公开一种硅棒研磨机,包括:
机座,具有硅棒加工平台;所述硅棒加工平台设有等待区位、第一加工区位以及第二加工区位;
硅棒装载装置,用于将待研磨的硅棒装载至等待区位;其中,位于等待区位上的硅棒的轴心线与预定中心线对齐;
第一转移装置,包括第一硅棒夹具、沿转移方向设置的第一转移导轨、以及用于驱动所述第一硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第一转移导轨移动并在等待区位、第一加工区位、以及第二加工区位之间转移的第一驱动机构;其中,所述第一硅棒夹具的夹持中心与预定中心线对齐;
第二转移装置,包括第二硅棒夹具、沿转移方向设置的第二转移导轨、以及用于驱动所述第二硅棒夹具及其夹持的硅棒沿着所述第二转移导轨移动并在等待区位、第一加工区位、以及第二加工区位之间转移的第二驱动机构;其中,所述第二硅棒夹具的夹持中心与预定中心线对齐;
粗磨装置,设于所述硅棒加工平台的第一加工区位处,用于对所述第一转移装置中第一硅棒夹具所夹持的硅棒或者所述第二转移装置中第二硅棒夹具所夹持的硅棒进行粗磨作业;以及
精磨装置,设于所述硅棒加工平台的第二加工区位处,用于对所述第一转移装置中第一硅棒夹具所夹持的硅棒或者所述第二转移装置中第二硅棒夹具所夹持的硅棒进行精磨作业。
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