[实用新型]一种扩散炉净化台净化系统有效
申请号: | 202022319475.0 | 申请日: | 2020-10-17 |
公开(公告)号: | CN213242498U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 刘群;庞爱锁;林佳继;郭永胜;林依婷 | 申请(专利权)人: | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人: | 董世博 |
地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 净化 净化系统 | ||
1.一种扩散炉净化台净化系统,其特征在于,包括净化台框架和净化装置,所述净化装置包括空气过滤净化器、风机以及进风口构成;所述空气过滤净化器、风机以及进风口设置于净化台框架的上方。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉净化台净化系统,其特征在于,所述空气过滤净化器至少为一个;空气过滤净化器通过气管道结构与净化台框架的内部空间实现联通。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉净化台净化系统,其特征在于,所述空气过滤净化器采用空气滤芯净化。
4.根据权利要求2所述的一种扩散炉净化台净化系统,其特征在于,所述空气过滤净化器设置为两组,分别为第一空气过滤净化器和第二空气过滤净化器,所述第一空气过滤净化器和第二空气过滤净化器分别设置于净化台框架顶部的相邻顶角上。
5.根据权利要求3所述的一种扩散炉净化台净化系统,其特征在于,所述进风口设置为两组,分别为第一进风口和第二进风口,进风口设置为净化台框架内部的气体吸入口。
6.根据权利要求1所述的一种扩散炉净化台净化系统,其特征在于,所述空气过滤净化器设置为直四棱柱形,在空气过滤净化器相对的两个侧面上设置有圆柱形的开口,并向外侧延伸,作为气流的导入口。
7.根据权利要求1所述的一种扩散炉净化台净化系统,其特征在于,所述进风口的侧面设置有气流的导出口。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造