[实用新型]MEMS开关、电子装置以及电子香烟

权利要求书

1.一种MEMS开关，可由流体致动，其特征在于，包括：

压电压力传感器；

板，具有面和贯通孔，其中，所述压电压力传感器被固定到所述板的所述面，并且所述压电压力传感器包括：

半导体材料的芯片，所述芯片具有覆盖所述贯通孔的贯通腔，并且所述贯通腔与所述贯通孔流体连接，以及

敏感膜，在所述贯通腔之上延伸，并且所述敏感膜具有第一表面和第二表面；以及

支撑壁，被配置为将所述板固定在分隔壁的开口中，所述分隔壁使第一空间和第二空间彼此相互分开，其中，所述敏感膜的所述第一表面面向所述第一空间，并且所述敏感膜的所述第二表面面向所述第二空间。

2.根据权利要求1所述的MEMS开关，其特征在于，所述敏感膜包括压电堆叠，所述压电堆叠包括底电极区、压电区和顶电极区。

3.根据权利要求2所述的MEMS开关，其特征在于，所述压电堆叠具有圆形形状、环形形状、具有多个扇区的圆形形状或者具有多个扇区的环形形状。

4.根据权利要求2所述的MEMS开关，其特征在于，所述压电堆叠包括彼此相邻但不接触的多个串联连接的扇区，其中，所述多个扇区中的第一扇区的顶电极部分被电耦合至与所述第一扇区相邻的第二扇区的底电极部分，所述第一扇区的底电极部分和所述多个扇区中的最后一个扇区的顶电极部分被耦合至所述压电压力传感器的外部端子。

5.根据权利要求1所述的MEMS开关，其特征在于，所述支撑壁具有管状形状，所述支撑壁包围所述压电压力传感器并且具有第一端和第二端，所述支撑壁的所述第一端被接合至所述板的所述面，并且所述支撑壁的所述第二端具有被配置为被密封地耦合至所述分隔壁的保持部件。

6.根据权利要求5所述的MEMS开关，其特征在于，所述保持部件包括在所述支撑壁中的凹槽，并且密封垫圈被定位在所述凹槽内。

7.根据权利要求1所述的MEMS开关，其特征在于，还包括：凝胶层，在由所述支撑壁限定的空间内，所述凝胶层涂覆所述压电压力传感器和所述板的所述面。

8.根据权利要求1所述的MEMS开关，其特征在于，还包括：控制单元，被接合至所述板的所述面，所述控制单元被电耦合至所述压电压力传感器，并且被配置为检测所述压电压力传感器的所述敏感膜的变形。

9.根据权利要求1所述的MEMS开关，其特征在于，还包括：气压传感器，被接合至所述板的所述面。

10.根据权利要求9所述的MEMS开关，其特征在于，所述气压传感器是MEMS传感器，包括以下项中的至少一项：电容式传感器、电阻式传感器或者应变仪。

11.一种电子装置，其特征在于，包括：

壳体；

壁，将所述壳体分为第一室和第二室；以及

MEMS开关，包括：

压电压力传感器；

板，具有面和贯通孔，其中，所述压电压力传感器被固定到所述板的所述面，并且所述压电压力传感器包括：

半导体材料的芯片，所述芯片具有覆盖所述贯通孔的贯通腔，并且所述贯通腔与所述贯通孔流体连接，以及

敏感膜，在所述贯通腔之上延伸，并且所述敏感膜具有第一表面和第二表面；以及

支撑壁，被配置为将所述板固定在分隔壁的开口中，所述分隔壁使第一空间和第二空间彼此相互分开，其中，所述敏感膜的所述第一表面面向所述第一空间，并且所述敏感膜的所述第二表面面向所述第二空间，

其中，所述装置被配置为检测流体的不连续通过。

12.根据权利要求11所述的电子装置，其特征在于，所述敏感膜包括压电堆叠，所述压电堆叠包括底电极区、压电区和顶电极区。