[实用新型]MEMS开关、电子装置以及电子香烟

说明书

本公开的实施例涉及MEMS开关、电子装置以及电子香烟。一种MEMS开关，可由流体致动，包括：压电压力传感器；板，具有面和贯通孔，其中，压电压力传感器被固定到板的面，并且压电压力传感器包括：半导体材料的芯片，芯片具有覆盖贯通孔的贯通腔，并且贯通腔与贯通孔流体连接，以及敏感膜，在贯通腔之上延伸，并且敏感膜具有第一表面和第二表面；以及支撑壁，被配置为将板固定在分隔壁的开口中，分隔壁使第一空间和第二空间彼此相互分开，其中，敏感膜的第一表面面向第一空间，并且敏感膜的第二表面面向第二空间。根据本公开，提供了一种可由流体致动的MEMS开关。

技术领域

本公开涉及一种可由流体(诸如，空气)致动并且可特别用于激活吸入器装置(诸如，电子香烟)的防水开关。

背景技术

具体地，在下面的描述中，将参照在电子香烟中使用的接通/关断开关，但是该开关也可以有利地应用于不同类型的吸入器(例如，用于睡眠呼吸暂停检测的连续气道正压(CPAP)设备)、防污染口罩、用于检测空气或者其他流体的泄漏的装置(在工业领域中采用)以及一般地，汽车行业。

众所周知，吸入器是使得能够使用生物的呼吸系统来吸入流体(例如，包括尼古丁的空气、空气或者包括药物或者其他物质的气雾剂，用于医学或者兽医用途)的装置。

在这些设备中，特别是在不连续使用的情况下，通常提供单独的接通/关断设备。例如，在电子香烟中，通常存在始终是激活的加速度计，其等待用于唤醒其余组部件的特征信号(例如，使用手指的轻击的序列，所谓的连续轻击)。具体地，当加速度计识别到由用户的手指引起的轻击序列时，加速度计生成用于电路的激活信号，该电路控制包含在电子香烟中的合适的液体溶液的蒸发但不会燃烧物质。

为此，电子香烟包括蒸发室或者雾化器，该汽化室或者雾化器包括例如成形为绕组(并且因此，通常被称为线圈)的电阻，该电阻在由电池供电时直接或者间接地对液体溶液进行加热，从而使液体溶液蒸发。

为了激活线圈，商业化可用的电子香烟可以包括：局部压力传感器，测量蒸发室内的压力；环境压力传感器(气压计)，测量外部环境的压力；以及比较由传感器生成的信号的电路，以确定用户吸入空气的时间。

此外，电子香烟通常设置有在香烟准备就绪时发出信号的指示灯(诸如，LED)，并且可以设置有在检测到吸气时亮起的尾端件，从而模拟传统香烟燃烧的典型红色，以再现传统吸烟的感觉以及光学上的感觉。

在图1至图3中图示了用于激活所指示的类型的电子香烟的电路的示例。

详细地，图1至图3示出了电子香烟1，该电子香烟1具有壳体2，该壳体2沿笛卡尔坐标系XYZ的第一轴线Y具有较大的尺寸(长度)，并且横截面面积(在平行于笛卡尔平面XZ的平面中)小于长度。壳体2 包括管状部3和吸气部4，该管状部3和吸气部4沿第一轴线Y彼此相邻地(prosecution)布置并且在此具有相同的横截面，例如，圆形的、矩形的或者椭圆形的。

吸气部4在面向管状部3的第一端敞开，并且具有由端壁4A(图3) 封闭的第二端，该端壁4A设置有在图3中用虚线示出的吸气开口4B，以使吸烟者能够吸气。

管状部3在两端敞开，并且通过分隔壁7而在内部分为第一部分5 和第二部分6，该分隔壁7横向于管状部3(通常平行于笛卡尔平面XZ) 延伸。

管状部3的第一部分5被布置在吸气部4附近，并且与吸气部4一起形成蒸发室8，该蒸发室8容纳：槽9、由槽9包围的空气通道10和靠近分隔壁7的被布置在槽9与空气通道10之间的加热器11。第一间隙12在管状部3的整个截面区域中在分隔壁7与槽9的底部之间延伸，并且与空气通道10流体连接。为管形的第二间隙15布置在管状部3的第一部分5的壁与槽9之间，第二间隙15与第一间隙12流体连接，并且在管状部3和吸气部4的相互面向的端部处向外敞开。第二间隙15、第一间隙12和空气通道10形成用于通过在吸气部4的端壁4A中的吸气开口4B而吸入的空气的流体路径(由箭头A指示的)。