[实用新型]一种微电子器件除尘装置有效
申请号: | 202022337678.2 | 申请日: | 2020-10-20 |
公开(公告)号: | CN213435815U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 赵广辉;阮佳程;张若凡;孙传宇;季超 | 申请(专利权)人: | 赵广辉 |
主分类号: | B08B1/00 | 分类号: | B08B1/00;B08B1/04;B08B5/02;B08B15/00 |
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地址: | 236700 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微电子 器件 除尘 装置 | ||
1.一种微电子器件除尘装置,包括密封盒(1),其特征在于:所述密封盒(1)的上表面设置有离子发生器(2),所述离子发生器(2)的输出端固定连接有离子风软管(3),所述离子风软管(3)的一端贯穿密封盒(1)的上表面并延伸至密封盒(1)的内部,所述离子风软管(3)的一端固定连接有固定管(4),所述固定管(4)的一端固定连接有固定块(5),所述固定块(5)外表面的一侧固定连接有底座(6),所述底座(6)的一侧设置有马达(7),所述马达(7)的输出端固定连接有主动齿轮(8),所述固定块(5)外表面的底部套接有刷子(9),所述刷子(9)的上表面开设有齿轮槽(10),所述齿轮槽(10)与主动齿轮(8)呈啮合连接,所述固定块(5)的下表面开设有通孔,所述通孔的内部固定连接有离子风枪(11),所述通孔与固定管(4)相导通,所述密封盒(1)的外表面的一侧开设有活动槽(12),所述密封盒(1)的内侧壁开设有T型槽(13),所述T型槽(13)的内部活动连接有活动杆(14),所述活动杆(14)的一端贯穿活动槽(12)并延伸至密封盒(1)的外表面,所述活动杆(14)的表面套接有套环(15),所述套环(15)的表面与固定管(4)呈固定连接。
2.根据权利要求1所述的微电子器件除尘装置,其特征在于:所述活动槽(12)、T型槽(13)、活动杆(14)和套环(15)的数量均为两个。
3.根据权利要求1所述的微电子器件除尘装置,其特征在于:所述活动槽(12)的内顶壁和内底壁均固定连接有细毛刷(16)。
4.根据权利要求1所述的微电子器件除尘装置,其特征在于:所述密封盒(1)的下表面固定连接有橡胶层(17)。
5.根据权利要求1所述的微电子器件除尘装置,其特征在于:所述密封盒(1)的外侧面开设有窗口(18),所述窗口(18)的内部固定连接有透视玻璃(19)。
6.根据权利要求1所述的微电子器件除尘装置,其特征在于:所述密封盒(1)的上表面固定连接有吸尘器(20)。
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