[实用新型]一种微电子器件除尘装置

说明书

本实用新型提供一种微电子器件除尘装置，属于微电子器件除尘装置技术领域，该微电子器件除尘装置包括密封盒，所述密封盒的上表面设置有离子发生器，所述离子发生器的输出端固定连接有离子风软管，所述离子风软管的一端贯穿密封盒的上表面并延伸至密封盒的内部，所述离子风软管的一端固定连接有固定管，所述固定管的一端固定连接有固定块。该微电子器件除尘装置，通过马达、主动齿轮、刷子、齿轮槽的设置，在使用时，将密封盒盖上后，打开马达，主动齿轮转动带动齿轮槽从而使刷子转动，可将长时间堆积的灰尘刷除掉，离子风枪把灰尘吹起，吸尘器将灰尘吸出，清理更干净，防止灰尘堆积引起电路故障。

技术领域

本实用新型属于微电子器件除尘装置技术领域，具体涉及一种微电子器件除尘装置。

背景技术

微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和，微电子器件属于精密器件，在微电子器件的生产、使用过程中必须保证微电子器件与灰尘隔离、保证洁净的生产环境，但由于机器、人员的活动，导致生产环境不可能完全洁净，因此，微电子器件在生产过程中还是会有particle沾染至器件上，此时需要及时对其进行清洁。

现有的微电子器件除尘装置在除尘时不能全方位的清理灰层，存在有死角无法清理的情况，并且灰层长时间堆积后，由于离子风扇风力有限，无法吹干净，即使现有的除尘装置设有刷子，但是刷子无法转动，刷不彻底。

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种微电子器件除尘装置，能有效克服上述存在的缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种微电子器件除尘装置，旨在解决现有技术中不能全方位的清理灰层，刷子无法转动，清理不够彻底的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种微电子器件除尘装置，包括密封盒，所述密封盒的上表面设置有离子发生器，所述离子发生器的输出端固定连接有离子风软管，所述离子风软管的一端贯穿密封盒的上表面并延伸至密封盒的内部，所述离子风软管的一端固定连接有固定管，所述固定管的一端固定连接有固定块，所述固定块外表面的一侧固定连接有底座，所述底座的一侧设置有马达，所述马达的输出端固定连接有主动齿轮，所述固定块外表面的底部套接有刷子，所述刷子的上表面开设有齿轮槽，所述齿轮槽与主动齿轮呈啮合连接，所述固定块的下表面开设有通孔，所述通孔的内部固定连接有离子风枪，所述通孔与固定管相导通，所述密封盒的外表面的一侧开设有活动槽，所述密封盒的内侧壁开设有T型槽，所述T型槽的内部活动连接有活动杆，所述活动杆的一端贯穿活动槽并延伸至密封盒的外表面，所述活动杆的表面套接有套环，所述套环的表面与固定管呈固定连接。

为了使得该一种微电子器件除尘装置达到全方位清理的目的，作为本实用新型一种优选的，所述活动槽、T型槽、活动杆和套环的数量均为两个。

为了使得该一种微电子器件除尘装置达到隔离灰层的作用，作为本实用新型一种优选的，所述活动槽的内顶壁和内底壁均固定连接有细毛刷。

为了使得该一种微电子器件除尘装置达到密封的效果，作为本实用新型一种优选的，所述密封盒的下表面固定连接有橡胶层。

为了使得该一种微电子器件除尘装置达到便于观察的目的，作为本实用新型一种优选的，所述密封盒的外侧面开设有窗口，所述窗口的内部固定连接有透视玻璃。

为了使得该一种微电子器件除尘装置达到吸尘的作用，作为本实用新型一种优选的，所述密封盒的上表面固定连接有吸尘器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该微电子器件除尘装置，通过马达、主动齿轮、刷子、齿轮槽的设置，在使用时，将密封盒盖上后，打开马达，主动齿轮转动带动齿轮槽从而使刷子转动，可将长时间堆积的灰尘刷除掉，离子风枪把灰尘吹起，吸尘器将灰尘吸出，清理更干净，防止灰尘堆积引起电路故障。