[实用新型]用于半导体加工的夹持工装

权利要求书

1.一种用于半导体加工的夹持工装，包括工作台(6)，所述工作台内底部中央设置有电机(16)，其特征在于：所述工作台(6)内部中央设置有传动箱(22)，所述传动箱(22)的左侧、右侧、底部和后箱板中央均开设有传动孔(23)，所述工作台(6)的四角均设置有支撑柱(5)，所述工作台(6)的顶部设置有垫片(2)，所述电机(16)的驱动轴的一端贯穿传动箱(22)的底部箱板上的传动孔(23)后固定连接有第一锥形齿轮(24)，所述第一锥形齿轮(24)上啮合连接有第二锥形齿轮(25)、第三锥形齿轮(26)混合第四锥形齿轮(27)，所述第二锥形齿轮(25)、第三锥形齿轮(26)和第四锥形齿轮(27)的中央均固定连接有传动轴(15)，所述三个传动轴(15)的一端分别贯穿传动箱(22)的左侧、右侧和后箱板上的传动孔(23)，所述支撑柱(5)的一侧开设有螺纹槽(17)，所述传动轴(15)和螺纹槽(17)螺纹连接，所述螺纹槽(17)一端设置有限位槽(14)，另一端设置有第一限位挡块(13)，所述支撑柱(5)的顶部设置有定位套筒(11)，所述定位套筒(11)上套接有定位销(7)，所述定位销(7)底部中央开设有凹槽(12)，所述定位销(7)的顶部固定连接复压板(1)，所述复压板(1)另一侧底部中央开设有梯形凹槽(3)，所述梯形凹槽(3)内镶嵌有垫片(2)，所述凹槽(12)中设置有齿条(9)，所述齿条(9)与直尺齿轮(10)啮合，所述齿条(9)一端固定连接有第二限位挡块(8),所述齿条(9)的另一端固定连接有第三限位挡块(18)，所述定位销(7)一侧外表面开设有滑槽(20)，所述直尺齿轮(10)的一侧固定连接有横杆(19)，所述定位套筒(11)的顶部一侧开设有定位孔(21)，所述横杆(19)的一端贯穿滑槽(20)和定位孔(21)，所述横杆(19)一端固定连接有手柄(4)。

2.根据权利要求1所述的用于半导体加工的夹持工装，其特征在于：所述传动轴(15)的数量有三个，且三个传动轴(15)直径相同。

3.根据权利要求1所述的用于半导体加工的夹持工装，其特征在于：所述复压板(1)、凹槽(12)、梯形凹槽(3)、齿条(9)和直尺齿轮(10)的数量均有九个。

4.根据权利要求1所述的用于半导体加工的夹持工装，其特征在于：所述定位套筒(11)的长度大于定位销(7)的长度，凹槽(12)的宽度大于第二限位挡块(8)和第三限位挡块(18)的宽度。

5.根据权利要求1所述的用于半导体加工的夹持工装，其特征在于：所述手柄(4)为六边形，且型号为十四号。

6.根据权利要求1所述的用于半导体加工的夹持工装，其特征在于：所述垫片(2)的材质为高、中、低压橡胶石棉板。