[实用新型]用于半导体加工的夹持工装

说明书

本实用新型涉及半导体加工的技术领域，具体涉及用于半导体加工夹持工装，包括工作台，所述工作台内底部部中央设置有电机，所述工作台内部中央设置有传动箱，所述传动箱左、右、下、后箱板中央开设有传动孔，所述工作台四角均设置有支撑柱，所述工作台顶部设置有垫片，所述电机驱动方向一端贯穿传动箱下箱板传动孔固定连接有第一锥形齿轮。通过电机带动梯形齿轮的相互啮合，及手柄带动直尺齿轮和齿条，使得加工尺寸的范围扩大，减少了人为切换产品时，替换工装的麻烦，设置复压板及橡胶石棉垫降低了工件加工时的震动，从而提高工件加工的稳定性，使得工件加工更方便有效，提高工件的合格率。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工的技术领域，具体为用于半导体加工的夹持工装。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其带你到率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。半导体在加工前，通常需要对芯片进行夹持固定，防止加工时芯片的移动，但在加工时由于芯片的震动，会导致芯片与夹持工装互相摩擦，导致损伤，损伤过多会对夹持工装造成磨损，导致后面芯片夹不紧，增大工件的损毁率，同时因加工不同尺寸的芯片时，需切换工装，若是数量少，而种类多时，就更加繁琐了。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了用于半导体加工的夹持工装，达到提高工件加工时稳定性，工件加工更方便有效的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一用于半导体加工的夹持工装，种包括工作台，所述工作台内底部中央设置有电机，所述工作台内部中央设置有传动箱，所述传动箱的左侧、右侧、底部和后箱板中央均开设有传动孔，所述工作台的四角均设置有支撑柱，所述工作台的顶部设置有垫片，所述电机的驱动轴的一端贯穿传动箱的底部箱板上的传动孔后固定连接有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮上啮合连接有第二锥形齿轮、第三锥形齿轮混合第四锥形齿轮，所述第二锥形齿轮、第三锥形齿轮和第四锥形齿轮的中央均固定连接有传动轴，所述三个传动轴的一端分别贯穿传动箱的左侧、右侧和后箱板上的传动孔，所述支撑柱的一侧开设有螺纹槽，所述传动轴和螺纹槽螺纹连接，所述螺纹槽一端设置有限位槽，另一端设置有第一限位挡块，所述支撑柱的顶部设置有定位套筒，所述定位套筒上套接有定位销，所述定位销底部中央开设有凹槽，所述定位销的顶部固定连接复压板，所述复压板另一侧底部中央开设有梯形凹槽，所述梯形凹槽内镶嵌有垫片，所述凹槽中设置有齿条，所述齿条与直尺齿轮啮合，所述齿条一端固定连接有第二限位挡块,所述齿条的另一端固定连接有第三限位挡块，所述定位销一侧外表面开设有滑槽，所述直尺齿轮的一侧固定连接有横杆，所述定位套筒的顶部一侧开设有定位孔，所述横杆的一端贯穿滑槽和定位孔，所述横杆一端固定连接有手柄。

优选的，所述传动轴的数量有三个，且三个传动轴直径相同。

优选的，所述复压板、凹槽、梯形凹槽、齿条、直尺齿轮的数量均有九个。

优选的，所述定位套筒的长度大于定位销的长度，凹槽的宽度大于第二限位挡块、第三限位挡块的宽度。

优选的，所述手柄为六边形，且型号为号。

优选的，所述垫片的材质为高、中、低压橡胶石棉板。

本实用新型提供了用于半导体加工的夹持工装。具备以下有益效果：

本实用新型通过电机带动梯形齿轮的相互啮合，及手柄带动直尺齿轮和齿条，使得用于半导体加工的夹持工装可以上下、左右、后方向调节，使得加工尺寸的范围扩大，减少了人为切换产品时，替换工装的麻烦，配合14号六角手柄，使得人用工具来进行调节，减少工件的损坏率，设置多个复压板及橡胶石棉垫降低了工件加工时的震动，从而提高工件加工的稳定性，使得工件加工更方便有效，提高工件的合格率。

附图说明

图1为本实用新型正视图；

图2为本实用新型正视图的剖视图；