[实用新型]电池片防衰减表面处理臭氧浓度实时监测装置有效
| 申请号： | 202022346828.6 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN212907673U | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 沈晓 | 申请（专利权）人： | 江苏格林保尔光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美华 |
| 地址： | 213161 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电池 衰减 表面 处理 臭氧 浓度 实时 监测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种电池片防衰减表面处理臭氧浓度实时监测装置，设在太阳能电池片防衰减表面处理装置的箱体旁侧，所述的箱体从下至上包括密封连接的进气室(1)、反应室(2)以及排气室(3)，其特征是：所述监测装置具有用于检测臭氧浓度的检测仪(4)，检测仪(4)的出口端与所述反应室(2)侧壁管路连接，检测仪(4)的进口端管路连接有抽气泵(5)，抽气泵(5)进气端与反应室(2)侧壁管路连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
