[实用新型]一种电子级三氟化氮成品分析管路系统

权利要求书

1.一种电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是包括气体抽空系统、水分分析系统、红外光谱分析系统、气相色谱分析系统、氮气吹扫系统、尾气回收系统六部分；气体抽空系统包括NF₃钢瓶(1)、减压阀(2)、压力表(3)、控制阀(4)、第一三通气动阀(6)、NF₃尾气回收口(5)、真空泵(17)、NF₃抽空口(18)；水分分析系统包括第二三通气动阀(7)、水分仪(9)；红外光谱分析系统包括第三三通气动阀(10)、红外光谱仪(11)；气相色谱分析系统包括第四三通气动阀(13)、气相色谱仪(14)；氮气吹扫系统包括N₂吹扫口(16)和连接于采用氮气吹扫水分仪(9)、红外光谱仪(11)的管路；尾气回收系统包括分析尾气回收口(15)和连接于水分仪(9)、红外光谱仪(11)、气相色谱仪(14)的管路；NF₃钢瓶(1)依次连接减压阀(2)、压力表(3)、控制阀(4)，控制阀(4)出口管线并联四路管线，第一路管线连接第一三通气动阀(6)、NF₃尾气回收口(5)，第一三通气动阀(6)同时连接真空泵(17)和NF₃抽空口(18)；第二路管线连接第二三通气动阀(7)、水分仪(9)、分析尾气回收口(15)，第二三通气动阀(7)同时连接N₂吹扫口(16)；第三路管线连接第三三通气动阀(10)、红外光谱仪(11)、分析尾气回收口(15)，第三三通气动阀(10)同时连接N₂吹扫口(16)；第四路管线连接第四三通气动阀(13)、气相色谱仪(14)、分析尾气回收口(15)。

2.根据权利要求1所述的电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是在水分仪的进气口前安装有过滤器(8)。

3.根据权利要求1所述的电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是第四三通气动阀(13)同时连接有NF₃标气瓶(12)。

4.根据权利要求1所述的电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是控制阀是球阀，水分仪是光腔衰荡水分仪，红外光谱仪是傅里叶变换红外光谱仪，气相色谱仪是放电离子化气相色谱仪。

5.根据权利要求1所述的电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是整个管路系统的阀门和真空泵通过计算机远程控制。

6.根据权利要求1所述的电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是NF₃尾气回收口(5)、分析尾气回收口(15)和NF₃抽空口(18)统一通过NF₃返气管线进入NF₃气柜中。

7.根据权利要求1所述的电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是整个管路系统均采用内壁电抛光的EP级不锈钢管材。

8.根据权利要求1所述的电子级三氟化氮成品分析管路系统，其特征是整个管路系统的分析管线连接处均采用真空连接径向密封的连接方式。