[实用新型]一种电子级三氟化氮成品分析管路系统

说明书

本实用新型公开了一种电子级三氟化氮成品分析管路系统，包括气体抽空系统、水分分析系统、红外光谱分析系统、气相色谱分析系统、氮气吹扫系统、尾气回收系统六部分；NF₃钢瓶依次连接减压阀、压力表、控制阀，控制阀出口管线并联四路管线，第一路管线连接第一三通气动阀、NF₃尾气回收口，第一三通气动阀同时连接真空泵和NF₃抽空口；第二路管线连接第二三通气动阀、水分仪、分析尾气回收口，第二三通气动阀同时连接N₂吹扫口；第三路管线连接第三三通气动阀、红外光谱仪、分析尾气回收口，第三三通气动阀同时连接N₂吹扫口；第四路管线连接第四三通气动阀、气相色谱仪、分析尾气回收口。该管路系统能够实现一套设备一次进样，快速分析。

技术领域

本实用新型涉及电子级三氟化氮成品分析管路系统。

背景技术

电子级三氟化氮是指纯度在99.99％以上规格的三氟化氮(NF₃)气体，由于其在半导体芯片、液晶面板显示器、太阳能薄膜电池领域的广泛应用以及其自身的高选择性、高速率、无污染的蚀刻性能和清洗性能，业界对于其杂质的含量有着非常高的要求，相应于电子级NF₃的分析管路系统就有着严格要求。

电子级NF₃气体中杂质主要分为三类：第一类是水分；第二类是HF；第三类主要是：O₂、N₂、CO、CH₄、CF₄、CO₂、SF₆、N₂O等，这些杂质气体的含量可以通过采用放电离子化气相色谱仪(DID)进行分析检测。现有技术全面分析电子级NF₃气体中的杂质含量需要对三类杂质分三次分别进行分析。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种电子级三氟化氮成品分析管路系统，该管路系统能够实现一套设备一次进样，快速分析电子级三氟化氮成品中各个组分含量。

本实用新型的技术方案是，一种电子级三氟化氮成品分析管路系统，包括气体抽空系统、水分分析系统、红外光谱分析系统、气相色谱分析系统、气体排出系统、氮气吹扫系统六部分；气体抽空系统：包括NF₃钢瓶1、减压阀2、压力表3、控制阀4、第一三通气动阀6、NF₃尾气回收口5、真空泵17、NF₃抽空口18；水分分析系统包括第二三通气动阀7、水分仪9；红外光谱分析系统包括第三三通气动阀10、红外光谱仪11；气相色谱分析系统包括第四三通气动阀13、气相色谱仪14；氮气吹扫系统包括N₂吹扫口16和连接于采用氮气吹扫水分仪9、红外光谱仪11的管路；尾气排出系统包括分析尾气回收口15和连接于水分仪9、红外光谱仪11、气相色谱仪14的管路；NF₃钢瓶1依次连接减压阀2、压力表3、控制阀4，控制阀4出口管线并联四路管线，第一路管线连接第一三通气动阀6、NF₃尾气回收口5，第一三通气动阀6同时连接真空泵17和NF₃抽空口18；第二路管线连接第二三通气动阀7、水分仪9、分析尾气回收口15，第二三通气动阀7同时连接N₂吹扫口16；第三路管线连接第三三通气动阀10、红外光谱仪11、分析尾气回收口15，第三三通气动阀10同时连接N₂吹扫口16；第四路管线连接第四三通气动阀13、气相色谱仪14、分析尾气回收口15。

进一步的技术方案，在水分仪的进气口前安装有过滤器8。

进一步的技术方案，第四三通气动阀13同时连接有NF₃标气瓶12，通过调整三通气动阀方向可以在不分析样品时对气相色谱仪进行标定操作。

进一步的技术方案，控制阀优选球阀，水分仪优选光腔衰荡水分仪，红外光谱仪优选傅里叶变换红外光谱仪，气相色谱仪优选放电离子化气相色谱仪。