[实用新型]一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置

权利要求书

1.一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，包括清洗箱（1），其特征在于：所述清洗箱（1）的底部设有减震板（2），所述清洗箱（1）的顶部铰接有盖板（3），所述清洗箱（1）的内腔底部线性设有若干超声波震板（4），所述清洗箱（1）的前后内侧壁对称线性设有若干卡槽（5），所述卡槽（5）内卡接有卡条（6），所述卡条（6）设置于矩形网框（7）的前后侧壁，所述矩形网框（7）的内腔内由左至右依次设有若干分割网板（8），通过所述分割网板（8）将所述矩形网框（7）分割成若干矩形放置腔（9）；

所述清洗箱（1）的右侧壁底部开设有连通管（10），所述连通管（10）的上端与过滤器（11）的内腔底部相连通，所述过滤器（11）的内腔顶部与抽液泵（12）的输出端相连通，所述抽液泵（12）的输入端与循环管（13）相连通，所述循环管（13）的上端开设于所述清洗箱（1）的右侧壁上部；

所述清洗箱（1）、所述盖板（3）均由内至外依次由第一耐腐蚀层（101）、隔音层（102）和第二耐腐蚀层（103）组成，所述隔音层（102）由内至外依次由岩棉层、聚酯纤维棉层和矿棉层。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：所述减震板（2）为泡沫铝板材质制成，且所述减震板（2）的底部设有防滑层。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：所述超声波震板（4）设置的数量至少为三组，所述卡槽（5）设置的数量至少为六组，所述分割网板（8）设置的数量至少为十二组。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：所述卡槽（5）的内壁还包括嵌设的阻尼层，所述阻尼层为硅胶材质制成。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：所述过滤器（11）为内部填充有活性炭颗粒的过滤芯。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：所述第一耐腐蚀层（101）和所述第二耐腐蚀层（103）均为铬镍合金板层制成。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：所述清洗箱（1）的外壁还包括涂覆的吸音涂层，且所述吸音涂层为纳米吸音涂料喷涂制成。

8.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：所述清洗箱（1）的左侧壁底部开设有排液管（14），且所述排液管（14）上设有排液阀。

9.根据权利要求1所述的一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，其特征在于：还包括设置于所述清洗箱（1）前侧壁上的控制器（15），所述控制器（15）分别与所述超声波震板（4）和所述抽液泵（12）电性相连。