[实用新型]一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置

说明书

本实用新型涉及硅麦基板加工技术领域，具体涉及一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，包括清洗箱，清洗箱的底部设有减震板，清洗箱的顶部铰接有盖板，清洗箱的内腔底部线性设有若干超声波震板，清洗箱的前后内侧壁对称线性设有若干卡槽，卡槽内卡接有卡条，卡条设置于矩形网框的前后侧壁，矩形网框的内腔内由左至右依次设有若干分割网板，通过分割网板将矩形网框分割成若干矩形放置腔；解决了大多通常的做法是将硅麦基板直接堆叠放置到清洗池中进行浸润去除污染物，由于清洗池内的清洗去污溶液为静止状态，对硅麦基板的表面污染物的去污能力较慢，导致清洗效率低下，同时功能单一的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅麦基板加工技术领域，具体涉及一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置。

背景技术

硅麦基板加工生产中须经严格清洗，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅麦基板表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

然而现有市场上的清洗装置大多通常的做法是将硅麦基板直接堆叠放置到清洗池中进行浸润去除污染物，由于清洗池内的清洗去污溶液为静止状态，对硅麦基板的表面污染物的去污能力较慢，导致清洗效率低下，同时功能单一，因此亟需研发一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，通过一系列结构的设计和使用，本实用新型在进行使用过程中，解决了大多通常的做法是将硅麦基板直接堆叠放置到清洗池中进行浸润去除污染物，由于清洗池内的清洗去污溶液为静止状态，对硅麦基板的表面污染物的去污能力较慢，导致清洗效率低下，同时功能单一的问题。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的底部设有减震板，所述清洗箱的顶部铰接有盖板，所述清洗箱的内腔底部线性设有若干超声波震板，所述清洗箱的前后内侧壁对称线性设有若干卡槽，所述卡槽内卡接有卡条，所述卡条设置于矩形网框的前后侧壁，所述矩形网框的内腔内由左至右依次设有若干分割网板，通过所述分割网板将所述矩形网框分割成若干矩形放置腔；

所述清洗箱的右侧壁底部开设有连通管，所述连通管的上端与过滤器的内腔底部相连通，所述过滤器的内腔顶部与抽液泵的输出端相连通，所述抽液泵的输入端与循环管相连通，所述循环管的上端开设于所述清洗箱的右侧壁上部；

所述清洗箱、所述盖板均由内至外依次由第一耐腐蚀层、隔音层和第二耐腐蚀层组成，所述隔音层由内至外依次由岩棉层、聚酯纤维棉层和矿棉层。

优选的，所述减震板为泡沫铝板材质制成，且所述减震板的底部设有防滑层。

优选的，所述超声波震板设置的数量至少为三组，所述卡槽设置的数量至少为六组，所述分割网板设置的数量至少为十二组。

优选的，所述卡槽的内壁还包括嵌设的阻尼层，所述阻尼层为硅胶材质制成。

优选的，所述过滤器为内部填充有活性炭颗粒的过滤芯。

优选的，所述第一耐腐蚀层和所述第二耐腐蚀层均为铬镍合金板层制成。

优选的，所述清洗箱的外壁还包括涂覆的吸音涂层，且所述吸音涂层为纳米吸音涂料喷涂制成。

优选的，所述清洗箱的左侧壁底部开设有排液管，且所述排液管上设有排液阀。

优选的，还包括设置于所述清洗箱前侧壁上的控制器，所述控制器分别与所述超声波震板和所述抽液泵电性相连。