[实用新型]一种耐基板翘曲的倒装LED芯片有效
申请号: | 202022351279.1 | 申请日: | 2020-10-20 |
公开(公告)号: | CN213340410U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 仇美懿;李进 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/36;H01L33/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 耐基板翘曲 倒装 led 芯片 | ||
本实用新型公开了一种耐基板翘曲的倒装LED芯片,其包括应力缓冲层、衬底、发光结构、一次电极结构、钝化层和二次电极结构;发光结构设于衬底的正面,一次电极结构设于发光结构上,钝化层设于一次电极结构上,二次电极结构设于钝化层上;二次电极结构贯穿钝化层与一次电极结构连接;应力缓冲层设于衬底的背面。实施本实用新型,应力缓冲层可提供与封装应力方向相反的应力,有效降低封装翘曲,使得封装基板平整度高,焊接良率提升,从而提升了倒装LED芯片的整体良率。
技术领域
本实用新型涉及光电子制造技术领域,尤其涉及一种耐基板翘曲的倒装 LED芯片。
背景技术
倒装LED芯片是一种新型LED芯片,其散热性能和光效都比普通正装LED 芯片优异,因此广泛应用于各类照明产品,低阶应用如球泡灯、吸顶灯,高阶应用如车灯、路灯等。倒装LED芯片的封装于传统正装LED芯片相差较大,实现有效的实现封装是倒装LED芯片产业化的关键内容。
倒装LED芯片对于封装基板的平整度要求高,若基板不平,容易使得芯片受损(参图1,由于基板翘曲,应力大,导致钝化层开裂);同时,基板翘曲也会造成漏电,电压不良等缺陷,使得LED芯片出现异常不良,据统计,采用普通基板时,现有的异常不良率(VF<5.8V)时可达到15%以上,甚至可达到65%;此外,基板翘曲也容易造成焊接良率低,漏电、死灯的问题。因此,如何加大倒装LED芯片对于不良封装基板的制程窗口,是本领域亟待克服的问题。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种耐基板翘曲的倒装LED芯片,其耐弯曲能力强,可有效降低封装异常不良率。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种耐基板翘曲的倒装LED芯片,其包括应力缓冲层、衬底、发光结构、一次电极结构、钝化层和二次电极结构;
所述发光结构设于所述衬底的正面,所述一次电极结构设于所述发光结构上,所述钝化层设于所述一次电极结构上,所述二次电极结构设于所述钝化层上;所述二次电极结构贯穿所述钝化层与所述一次电极结构连接;
所述应力缓冲层设于所述衬底的背面。
作为上述技术方案的改进,所述应力缓冲层由AlN或BN制成,其厚度为 0.3~6μm。
作为上述技术方案的改进,所述二次电极结构包括依次设于所述钝化层上的连接层、阻挡层、弹性层和粘附层。
作为上述技术方案的改进,所述连接层由Cr或Ti制成,其厚度为2~50nm。
作为上述技术方案的改进,所述阻挡层包括第一阻挡层、第二阻挡层和第三阻挡层,所述第二阻挡层由Ni制成,所述第一阻挡层和第三阻挡层由Au、 Pt、Ti中的一种制成。
作为上述技术方案的改进,所述第一阻挡层和所述第三阻挡层的厚度为 100~500nm,所述第二阻挡层的厚度为50~200nm。
作为上述技术方案的改进,所述阻挡层依次包括Au层、Ni层和Au层;或
所述阻挡层依次包括Ti层、Ni层和Ti层;或
所述阻挡层依次包括Au层、Ni层和Pt层。
作为上述技术方案的改进,所述弹性层为一层AuSn合金层;或
所述弹性层包括多层Au层、Sn层和AuSn合金层;
所述弹性层的厚度≥2.5μm。
作为上述技术方案的改进,所述粘附层由Au或Pt制成,其厚度为 10~100nm。
作为上述技术方案的改进,所述衬底为蓝宝石,所述二次电极结构平行于所述衬底的易轴方向。
实施本实用新型,具有如下有益效果:
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