[实用新型]一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠有效
申请号: | 202022356131.7 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN213958910U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 何浩梁 | 申请(专利权)人: | 广州市鸿浩光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 广州正驰知识产权代理事务所(普通合伙) 44536 | 代理人: | 洪安鹏 |
地址: | 510000 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 去胶机用 导轨 | ||
1.一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,包括滑轨(10);
其特征在于:
在滑轨(10)的底部设置有限位槽(11),所述的限位槽(11)的内部滑动连接有限位组件(30),所述的限位组件(30)通过螺栓配合固定在去胶机内部。
2.根据权利要求1所述的一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,其特征在于:所述的限位槽(11)包括滑动套板(12)与限位孔(13),所述的滑动套板(12)设置在限位槽(11)内壁两侧,且滑动套板(12)的上端面与滑轨(10)的底部预留有滑动槽体,所述的限位孔(13)设置在滑动套板(12)的内部,且所述的限位孔(13)在滑动套板(12)的上端面上均匀呈直线分布,所述的滑动套板(12)的底部滑动卡接有限位组件(30),所述的限位组件(30)通过滑动套板(12)与滑轨(10)配合滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,其特征在于:所述的限位组件(30)包括卡板(31)与固定台(32),所述的卡板(31)与固定台(32)之间通过连接柱(34)配合固定连接,且连接柱(34)固定在固定台(32)与卡板(31)的中部,并与卡板(31)与连接柱(34)保持垂直,所述的固定台(32)的底端面上设置有安装孔(33),所述的限位组件(30)通过固定台(32)与螺栓配合连接与外部固定,所述的卡板(31)滑动卡接在限位槽(11)内部,且卡板(31)的上端卡接在所述的滑动槽体内。
4.根据权利要求2所述的一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,其特征在于:所述的滑动套板(12)的底部还连接有锁止构件(40),所述的锁止构件(40)包括卡柱(41)与连接板(42),所述的卡柱(41)与连接板(42)之间固定连接,且所述的连接板(42)固定在卡柱(41)的两端,所述的连接板(42)可拆卸连接在限位孔(13)的内部,且限位槽(11)两侧的滑动套板(12)通过锁止构件(40)连接在一起。
5.根据权利要求4所述的一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,其特征在于:所述的连接板(42)穿过所述的限位孔(13)与限位槽(11)的顶部抵接,且所述的卡柱(41)底部抵接在所述的滑动套板(12)的下端面上。
6.根据权利要求1所述的一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,其特征在于:所述的滑轨(10)的两侧设置有滑道(14),所述的滑轨(10)上端外部滑动连接有滑块(20),所述的滑块(20)的两侧滑动卡接在滑道(14)的内部,且滑轨(10)的上端面设置有嵌合的滑槽,所述的滑块(20)底部贴合在滑轨(10)的上端面上。
7.根据权利要求3所述的一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,其特征在于:所述的卡板(31)直径尺寸于两组滑动套板(12)之间的距离宽度,且卡板(31)的直径尺寸要小于限位槽(11)两侧内壁宽度。
8.根据权利要求4所述的一种圆晶自动去胶机用导轨丝杠,其特征在于:所述的锁止构件(40)抵接在连接柱(34)的外侧,且所述的锁止构件(40)分别设置两组限位组件(30)的两侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造