[实用新型]一种清理MOCVD上喷淋头的工具

权利要求书

1.一种清理MOCVD上喷淋头的工具，包括与喷淋头匹配的圆形支架，所述圆形支架固定在喷淋头上；其特征在于：所述圆形支架上设有固定导轨，所述固定导轨上滑动设有基板，所述基板上设置有伸缩导轨，所述伸缩导轨的移动轨迹与固定导轨的移动方向在空间上垂直分布；所述伸缩导轨上设置有刷头安装座，所述刷头安装座上设置有与喷淋头接触的刷头。

2.根据权利要求1所述的工具，其特征在于：所述刷头安装座上设置有向外伸出的握持端。

3.根据权利要求2所述的工具，其特征在于：所述握持端由四根棒体组成，四根所述棒体分布在刷头安装座的前后左右四个方位。

4.根据权利要求1所述的工具，其特征在于：所述圆形支架的边缘环形阵列分布有若干个等高的支撑柱，所述支撑柱的上端通过螺丝固定在喷淋头上。

5.根据权利要求1所述的工具，其特征在于：所述基板的侧壁上设有缓冲件。

6.根据权利要求1所述的工具，其特征在于：所述固定导轨的中心线与圆形支架的直径重合，所述伸缩导轨为多节伸缩导轨，所述伸缩导轨的伸缩范围大于或等于喷淋头的直径。