[实用新型]一种光刻机基底架的精密抛光装置

权利要求书

1.一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于，包括：

箱体（1），所述箱体（1）内固定安装有吸尘设备（2）、电机（3）和冷风机（4），所述箱体（1）的顶部开设有圆孔（18）、吸尘孔（21）和冷风孔（41）；

所述圆孔（18）内固定安装有轴承（17），所述轴承（17）的一端固定连接有电机（3）的传动轴（19），所述轴承（17）的另一端固定安装有旋转轴（16），所述旋转轴（16）的一端固定安装有磨盘（12）；

所述吸尘孔（21）的一端与所述吸尘设备（2）相连通，所述冷风孔（41）与所述冷风机（4）相连通；

所述箱体（1）上固定连接有环形挡板（13），所述环形挡板（13）内壁上固定连接有环形卡条（14），所述箱体（1）上还固定连接有弹簧支撑柱（6），所述弹簧支撑柱（6）的一端固定连接有盖板（9），所述盖板（9）的两侧固定连接有挂钩（8），所述盖板（9）的底部固定连接有橡胶压板（11），所述箱体（1）的两侧固定连接有拉紧扣（5）。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于：所述箱体（1）为圆柱形结构。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于：所述拉紧扣（5）设置有两组，且所述拉紧扣（5）上安装有用于拉紧所述挂钩（8）的拉绳（7）。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于：所述环形卡条（14）上固定连接有环形橡胶垫（15），所述环形橡胶垫（15）上放置有圆架（10）。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于：所述冷风机（4）的一侧开设有冷风口（42）。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于：所述磨盘（12）设置为树脂磨盘。

7.根据权利要求1所述的一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于：所述环形挡板（13）为不锈钢挡板。

8.根据权利要求1所述的一种光刻机基底架的精密抛光装置，其特征在于：所述箱体（1）的两侧开设有维修口（20）。