[实用新型]静电卡盘结构和蚀刻设备

权利要求书

1.一种静电卡盘结构，其特征在于，包括：

电源；

静电卡盘，其中，所述静电卡盘的放置面被配置为允许放置至少两种尺寸的晶圆，所述静电卡盘的所述放置面上设置有至少两个第一电极和至少两个第二电极，所述第一电极被配置为允许与所述电源的一端连接，所述第二电极被配置为允许与所述电源的另一端连接；

其中，在所述静电卡盘的所述放置面上放置有第一尺寸的第一晶圆的情况下，所述至少两个第一电极中的预定数量的所述第一电极与所述电源的一端连通，以及所述至少两个第二电极中的所述预定数量的所述第二电极与所述电源的另一端连通，且所述预定数量的所述第一电极和所述第二电极共同与所述第一晶圆接触的面积与所述第一晶圆的所述第一尺寸匹配。

2.根据权利要求1所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述静电卡盘结构还包括：

盖环，所述盖环用于遮盖所述静电卡盘上放置晶圆的表面上未与所述电源连通的所述第一电极和所述第二电极对应的部分。

3.根据权利要求2所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述盖环包括第一盖体和第二盖体，其中，所述第一盖体用于遮盖所述静电卡盘上放置晶圆的表面上未与所述电源连通的所述第一电极对应的部分，所述第二盖体用于遮盖所述静电卡盘上放置晶圆的表面上未与所述电源连通的所述第二电极对应的部分。

4.根据权利要求2所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述盖环的材质为陶瓷。

5.根据权利要求1所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述静电卡盘结构还包括控制电路，其中，所述控制电路用于同时切换与所述电源连通的所述第一电极和与所述电源连通的所述第二电极的正负极性。

6.根据权利要求5所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述控制电路包括第一控制电路和第二控制电路，其中，

所述第一电极通过所述第一控制电路与所述电源连接，所述第一控制电路用于切换所述第一电极连接的所述电源的端口；

所述第二电极通过所述第二控制电路与所述电源连接，所述第二控制电路用于切换所述第二电极连接的所述电源的端口。

7.根据权利要求1所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述静电卡盘结构还包括第一开关和第二开关，其中，所述第一开关设置在所述第一电极与所述电源连接的连接线上，所述第二开关设置在所述第二电极与所述电源连接的连接线上。

8.根据权利要求7所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述静电卡盘结构还包括：

控制器，所述控制器用于在检测到所述静电卡盘的所述放置上放置有所述第一晶圆的情况下，确定所述第一晶圆的所述第一尺寸，并控制所述预定数量的所述第一电极与所述电源的一端连通，以及控制所述至少两个第二电极中的所述预定数量的所述第二电极与所述电源的另一端连通。

9.根据权利要求8所述的静电卡盘结构，其特征在于，所述控制器与所述第一开关和所述第二开关连接，用于控制所述第一开关和所述第二开关的开合状态，以控制所述预定数量的所述第一电极与所述电源的一端连通，以及控制所述至少两个第二电极中的所述预定数量的所述第二电极与所述电源的另一端连通。

10.一种蚀刻设备，其特征在于，所述蚀刻设备包括如权利要求1至9中任一项所述的静电卡盘结构。