[实用新型]一种防变形靶材有效
| 申请号： | 202022374932.6 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN213652625U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 变形 | ||
【权利要求书】：
1.一种防变形靶材，其特征在于，所述防变形靶材的非溅射面上设置有水冷却槽；
所述水冷却槽的底面平面度≤0.05mm；
所述水冷却槽的底面粗糙度≤0.8μm；
所述水冷却槽的中央设置有凸起；
所述凸起的中央设置有螺纹凹槽。
2.根据权利要求1所述的防变形靶材，其特征在于，所述螺纹凹槽的螺纹底径为12.8-12.9mm。
3.根据权利要求1所述的防变形靶材，其特征在于，所述凸起的横截面为圆形。
4.根据权利要求3所述的防变形靶材，其特征在于，所述凸起的直径为35.0-35.5mm。
5.根据权利要求3所述的防变形靶材，其特征在于，所述凸起的顶面到水冷却槽的底面距离为10.8-11.0mm。
6.根据权利要求3所述的防变形靶材，其特征在于，所述凸起的顶面平面度≤0.05mm。
7.根据权利要求1所述的防变形靶材，其特征在于，所述水冷却槽的底面边缘设置圆角。
8.根据权利要求7所述的防变形靶材，其特征在于，所述圆角的直径为1.3-1.5mm。
9.根据权利要求1所述的防变形靶材，其特征在于，所述防变形靶材的溅射面为凹面。
10.根据权利要求9所述的防变形靶材，其特征在于，所述凹面的曲率半径为300-500mm。
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