[实用新型]用于真空封合之密封碟盘

权利要求书

1.一种用于真空封合之密封碟盘，适用于往复地移动至一开启位置或一关闭位置以开启或封合一真空阀之一金属材料之阀口，该密封碟盘至少包含：

一基座，该基座具有一第一表面；以及

一密封板，该密封板环接该基座，其中该密封碟盘于该关闭位置系同时承受从该真空阀之内部施加之闭合力以及从该真空阀之外部施加之大气压力，藉以使得该密封板之一第一密封面可同时随着该闭合力及该大气压力转动地抵接该真空阀之该阀口中之一第二密封面，以保持真空封合该阀口。

2.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板为弯折板、波浪板或弧形板。

3.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板包含：

一第一翼板，该第一翼板于一第一环接处环接该基座且相对于该第一环接处之一环面以一第一夹角朝远离该第一环接处的方向向外延伸；以及

一第二翼板，该第二翼板于一第二环接处环接该第一翼板且相对于该第一翼板以一第二夹角朝远离该基座之该第一表面之方向向外延伸，藉以使得该第二翼板与该第一环接处之该环面间呈一第三夹角，其中该第一密封面位于该第二翼板之端缘上。

4.如权利要求3所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该闭合力系同时直接施加于该第二翼板与该第一翼板连接之该第二环接处以及该基座。

5.如权利要求3所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该闭合力系直接施加于该基座以经由该基座而间接施加于该密封板。

6.如权利要求3所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该第一夹角之角度值介于5度至45度之间，该第三夹角之角度值介于5度至45度之间，该第一夹角之角度值、该第二夹角之角度值及该第三夹角之角度值总和为180度。

7.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该基座具有一第二表面相对于该第一表面，该第二表面设有一定位件，用以于该密封碟盘装配于该真空阀的过程中定位该密封碟盘相对于该真空阀之该阀口的位置。

8.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板之该第一密封面系圆弧面或球面。

9.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板之该第一密封面系经润滑抛光处理之表面。

10.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板为金属材质，该真空阀为全金属阀。

11.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板为金属材质，该真空阀为全金属高频屏蔽闸阀。

12.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板一体环接该基座。

13.如权利要求1所述之用于真空封合之密封碟盘，其中该密封板可拆卸式环接该基座。