[实用新型]用于真空封合之密封碟盘

说明书

一种用于真空封合之密封碟盘，适用于往复地移动至开启位置或关闭位置以开启或封合全金属阀之阀口。密封碟盘之密封板形成有第一密封面，密封碟盘于关闭位置系以第一密封面直接抵接全金属真空阀之阀口。本实用新型藉由金属材质之密封面相互抵接时的补偿运动和调节运动，可提高真空封合性及延长使用寿命。

技术领域

本实用新型是有关于一种密封碟盘，特别是有关于一种用于真空封合之密封碟盘。

背景技术

传统的真空阀大多使用俗称O型环的橡胶类弹性材料作为阀板与阀体之间的密封组件。由于O型环系藉由挤压形变而达到所需的封合效果，因此O型环仅适用于对封合性要求不高的阀体。因此，此类密封组件无法适用于高真空系统，且无法适用于高温环境中。

有些高真空系统虽然采用全金属阀取代橡胶类密封组件。然而，其系藉由两金属层间相互抵接而形成封合面，因此施加之闭合力需要随着阀门开关次数增加而增加，且其使用寿命也会因此而缩短。此外，金属层因加热或冷却所产生的尺寸变化会使得两金属层间具有相对运动并导致剪切变形，进而破坏封合面。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型之目的就是在提供一种用于真空封合之密封碟盘，其可适用于超高真空系统中，用以解决上述习知技艺之问题。

为达前述目的，本实用新型提出一种用于真空封合之密封碟盘，适用于往复地移动至一开启位置或一关闭位置以开启或封合一真空阀之一金属材料之阀口，该密封碟盘至少包含：一基座，该基座具有一第一表面；以及一密封板，该密封板环接该基座，其中该密封碟盘于该关闭位置系同时承受从该真空阀之内部施加之闭合力以及从该真空阀之外部施加之大气压力，藉以使得该密封板之一第一密封面直接抵接该真空阀之该阀口中之一第二密封面，且该第一密封面可同时随着施加之该闭合力及该大气压力而相对于该第二密封面转动以保持真空封合该阀口。

其中，该密封板为弯折板、波浪板或弧形板。

其中，该密封板包含：一第一翼板，该第一翼板于一第一环接处环接该基座且相对于该第一环接处之一环面以一第一夹角朝远离该第一环接处的方向向外延伸；以及一第二翼板，该第二翼板于一第二环接处环接该第一翼板且相对于该第一翼板以一第二夹角朝远离该基座之该第一表面之方向向外延伸，藉以使得该第二翼板与该第一环接处之该环面间呈一第三夹角，其中该第一密封面位于该第二翼板之端缘上。

其中，该闭合力系同时直接施加于该第二翼板与该第一翼板连接之该第二环接处以及该基座。

其中，该闭合力系直接施加于该基座以经由该基座而间接施加于该密封板。

其中，该第一夹角之角度值介于5度至45度之间，该第三夹角之角度值介于5度至45度之间，该第一夹角之角度值、该第二夹角之角度值及该第三夹角之角度值总和为180度。

其中，该基座具有一第二表面相对于该第一表面，该第二表面设有一定位件，用以于该密封碟盘装配于该真空阀的过程中定位该密封碟盘相对于该真空阀之该阀口的位置。

其中，该密封板之该第一密封面系圆弧面或球面。

其中，该密封板之该第一密封面系经润滑抛光处理之表面。

其中，该密封板为金属材质。

其中，该真空阀为全金属阀。

其中，该真空阀为全金属高频屏蔽闸阀。

其中，该密封板一体环接该基座。

其中，该密封板可拆卸式环接该基座。