[实用新型]一种提升反应气体扩散均匀性的扩散炉

权利要求书

1.一种提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，包括外箱体以及设置在外箱体内部的炉体；其特征是，

所述炉体包括炉筒、气体均布件；所述炉筒呈两端封堵的卧式圆筒结构；所述炉筒的一端设置炉口；所述炉筒通过炉筒底座固定设置在外箱体内底面上；

所述气体均布件呈圆筒状结构，所述气体均布件的圆筒侧壁内设置有沿圆筒轴向方向延伸的环形均布腔；所述气体均布件的圆筒内侧壁上均匀设置有若干与环形均布腔相连通的气体均布孔；所述气体均布件的圆筒外侧壁上设置有与环形均布腔相连通的气体入口管；

所述气体均布件同轴设置在炉筒内部，所述炉筒的侧壁上、外箱体的侧壁上均设置有供气体入口管穿过的通孔；

所述炉筒的侧壁上设置有排气管，所述排气管延伸至外箱体的外部；

所述外箱体的一侧内侧壁上设置有能够将硅片通过炉口送至炉体内腔中的送料机构；

所述送料机构包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；

所述送料电机固定设置在外箱体的一侧内侧壁上；

所述送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；

所述送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；所述送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；

所述送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；所述夹头包括呈U型结构的调节座，所述调节座的开口面向炉体的炉口；所述调节座的两块水平板之间设置两块上下对称的水平夹持板；两块水平夹持板相向的侧面上沿长度方向对称设置有若干夹持柱；

所述调节座上设置有用来控制两块水平夹持板进行同步相向运动或同步背向运动的调节件；

所述调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；所述L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。

2.如权利要求1所述的提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，其特征是，所述炉筒包括左右对称设置的第一炉筒和第二炉筒；

所述第一炉筒的右端设置第一连接法兰；所述第二炉筒的左端设置第二连接法兰；

所述气体均布件的外侧壁中部设置有环形安装板；所述环形安装板上沿圆周方向均匀设置若干连接孔；

所述环形安装板位于第一连接法兰、第二连接法兰之间；

所述第一连接法兰、环形安装板、第二连接法兰通过螺栓进行连接。

3.如权利要求1所述的提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，其特征是，所述气体入口管上设置入口阀门；所述入口阀门前端的气体入口管上设置用来过滤气体的过滤件；

所述过滤件包括呈圆筒状结构的过滤筒，所述过滤筒的内侧面上沿轴向方向均匀内嵌有若干层钢丝过滤网；

所述过滤筒的两端与气体入口管进行法兰连接。

4.如权利要求1所述的提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，其特征是，所述送料螺杆与送料电机的转轴通过联轴器进行同轴连接。

5.如权利要求1所述的提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，其特征是，所述送料导轨上设置有沿送料螺杆轴向方向延伸的限位滑槽；

所述送料滑座的一侧面上设置有与限位滑槽进行滑动限位配合的限位滑块。

6.如权利要求5所述的提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，其特征是，所述限位滑槽为T型滑槽，所述限位滑块为T型滑块。

7.如权利要求1所述的提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，其特征是，位于上部的夹持柱的底端以及位于下部的夹持柱的顶端均设置有橡胶垫。

8.如权利要求1所述的提升反应气体扩散均匀性的扩散炉，其特征是，所述调节件为调节螺柱，所述调节螺柱的两端设置有旋向相反的外螺纹；

所述调节螺柱两端分别与相应的水平夹持板进行螺纹连接；

所述调节螺柱的顶端、底端分别与调节座中相应的水平板进行转动连接；

所述水平夹持板面向调节座的一端设置调节滑块，所述调节座的竖直板上设置有与调节滑块进行上下滑动配合的调节滑槽。