[实用新型]一种玻璃镀膜用钛管靶材有效
| 申请号： | 202022396633.2 | 申请日： | 2020-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN213327813U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 刘军社 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市佳军金属材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237 | 代理人： | 麦春明 |
| 地址： | 721013 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 用钛管靶材 | ||
1.一种玻璃镀膜用钛管靶材，包括靶材本体（1），其特征在于：所述靶材本体（1）包括用于镀膜的管体（4），所述管体（4）一端连接有便于调节的连接机构（2），所述连接机构（2）内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构（3）。
2.根据权利要求1所述的一种玻璃镀膜用钛管靶材，其特征在于：所述连接机构（2）包括连接在管体（4）四周均匀分布的多个连接座（5），所述连接座（5）一侧连接有连接导杆（6），所述连接导杆（6）远离连接座（5）的一端滑动连接有导杆座（9），且导杆座（9）底部连接有套管（8）。
3.根据权利要求2所述的一种玻璃镀膜用钛管靶材，其特征在于：所述锁紧机构（3）包括连接在套管（8）内部的两个卡环（10），两个所述卡环（10）相互配合，所述卡环（10）一侧连接有连接块（11），所述连接块（11）上连接有轴承（12），所述轴承（12）内部连接有螺杆（13），且轴承（12）与螺杆（13）转动连接，所述螺杆（13）远离轴承（12）的一端连接有拧动把手（14），两个所述卡环（10）配合的两侧分别连接有四个导向块（15），所述导向块（15）上连接有导向柱（16），且导向柱（16）与导向块（15）滑动连接。
4.根据权利要求3所述的一种玻璃镀膜用钛管靶材，其特征在于：所述管体（4）一端设有限位槽（7）和锁紧槽（18），所述套管（8）四周连接有多个安装凸块（17）。
5.根据权利要求4所述的一种玻璃镀膜用钛管靶材，其特征在于：所述卡环（10）内部形状与锁紧槽（18）形状相吻合。
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