[实用新型]一种玻璃镀膜用钛管靶材

说明书

本实用新型公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材，本实用新型公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材，包括靶材本体，所述靶材本体包括用于镀膜的管体，所述管体一端连接有便于调节的连接机构，所述连接机构内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构，本实用新型通过设置在管体一端的连接机构和锁紧机构之间的相互配合，连接机构调节靶材与设备连接的位置高度，锁紧机构对不同连接位置进行锁紧，这种连接方式相对于现有的粘合方式，解决了在玻璃镀膜时靶材脱落、镀膜失败和工作效率低的问题。

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，具体为一种玻璃镀膜用钛管靶材。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

现有靶材绑定是通过结合层将靶材和镀膜设备进行粘合，粘合材料还必须满足较好的导热、导电和足够支撑强度的要求，这种粘合方式不够稳定，可能会在粘合过程中粘合力度不够，导致支撑性差，或者粘合位置发生偏移，导致靶材歪斜，还有就是在更换靶材不方便，这些都会造成在镀膜过程中靶材脱落、镀膜失败和靶材更换速度慢等问题。为此，我们提出一种玻璃镀膜用钛管靶材。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种玻璃镀膜用钛管靶材，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种玻璃镀膜用钛管靶材，所述靶材本体包括用于镀膜的管体，所述管体一端连接有便于调节的连接机构，所述连接机构内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构。

优选的，所述连接机构包括连接在管体四周均匀分布的多个连接座，所述连接座一侧连接有连接导杆，所述连接导杆远离连接座的一端滑动连接有导杆座，且导杆座底部连接有套管，有利于调节不同安装高度位置。

优选的，所述锁紧机构包括连接在套管内部的两个卡环，两个所述卡环相互配合，所述卡环一侧连接有连接块，所述连接块上连接有轴承，所述轴承内部连接有螺杆，且轴承与螺杆转动连接，所述螺杆远离轴承的一端连接有拧动把手，两个所述卡环配合的两侧分别连接有四个导向块，所述导向块上连接有导向柱，且导向柱与导向块滑动连接，有利于不同安装高度位置的锁紧。

优选的，所述管体一端设有限位槽和锁紧槽，有利于调节和固定，所述套管四周连接有多个安装凸块。

优选的，所述卡环内部形状与锁紧槽形状相吻合，有利于管体和套管的位置固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型本实用新型通过设置在管体一端的连接机构和锁紧机构之间的相互配合，连接机构调节靶材与设备连接的位置高度，锁紧机构对不同连接位置进行锁紧，这种连接方式相对于现有的粘合方式，解决了在玻璃镀膜时靶材脱落、镀膜失败和工作效率低的问题。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型结构示意图。

图3为本实用新型结构示意图。

图4为本实用新型管体结构示意图。

图5为图3中A区域放大图。

图中：1-靶材本体；2-连接机构；3-锁紧机构；4-管体；5-连接座；6-连接导杆；7-限位槽；8-套管；9-导杆座；10-卡环；11-连接块；12-轴承；13-螺杆；14-拧动把手；15-导向块；16-导向柱；17-安装凸块；18-锁紧槽。

具体实施方式