[实用新型]一种带有切割功能的LED晶片扩张机有效
申请号: | 202022405148.7 | 申请日: | 2020-10-26 |
公开(公告)号: | CN213483717U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 林永祥;刘彦成;王祥昊 | 申请(专利权)人: | 琉明光电(常州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683;H01L33/00 |
代理公司: | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人: | 黎芳芳 |
地址: | 213164 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 切割 功能 led 晶片 扩张 | ||
本实用新型公开了一种带有切割功能的LED晶片扩张机,包括扩晶装置、切割装置和固定组件,所述扩晶装置包括工作台和上压盖,所述上压盖底部与工作台表面贴合连接进行扩晶,所述工作台内部设有切割装置和下气缸,所述工作台底部与切割装置固定连接,所述工作台顶部与下气缸固定连接,所述工作台表面设有两块下压板,两块所述下压板分别与下气缸固定连接,两块所述下压板上均设有扩晶内环,所述扩晶内环顶部与上压环底部贴合连接进行扩晶,本实用新型结构科学合理,使用安全方便,所述切割装置可以在扩晶工作完成后对多余的膜面进行切割,工作台上设置两个工作区域有利于提高扩晶的工作效率。
技术领域
本实用新型涉及LED晶片生产技术领域,具体为一种带有切割功能的LED晶片扩张机。
背景技术
扩晶机也叫晶片扩张机或扩片机,它被广泛应用于发光二极管、中小功率三极管、背光源、LED、集成电路和一些特殊半导体器件生产过程中的晶粒扩张工序,LED芯片在划片后依然排列紧密,间距很小,不利于后工序的操作,晶片扩张机使得排列紧密的LED晶片均匀分开,使之更好地植入在焊接工件上,也可以采用手工扩张,但很容易造成芯片掉落造成浪费等不良问题,手工扩张晶片的方法已逐渐被淘汰,目前通常采用晶片扩张机对黏结的膜进行扩张,使附着在膜表面排列紧密的LED晶片间距拉伸到0.6mm,但是,现有的晶片扩张机在使用时存在以下问题:
1、LED晶片在扩张结束,取出扩晶完毕的蓝膜后,需要对膜面的多余部分进行修剪,然后送至下一个工序进行固晶,但是现有技术中需要分步进行扩晶和修剪,降低了工序的连接性;
2、目前扩晶工序中使用的加热方式是利用蓝膜的加热可塑性,利用上下压环进行压膜加热,但是上下压环会出现外圈的晶片扩张较好,而中间位置的晶片扩张距离达不到0.6mm,导致蓝膜中间位置的晶片扩张不均匀;
3、传统的扩晶工作台上只进行一次扩晶工作,扩晶的工作效率有待提高;
所以,人们急需一种带有切割功能的LED晶片扩张机来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种带有切割功能的LED晶片扩张机,以解决上述背景技术中提出的LED晶片在扩张结束,取出扩晶完毕的蓝膜后,需要对膜面的多余部分进行修剪,然后送至下一个工序进行固晶,但是现有技术中需要分步进行扩晶和修剪,降低了工序的连接性;目前扩晶工序中使用的加热方式是利用蓝膜的加热可塑性,利用上下压环进行压膜加热,但是上下压环会出现外圈的晶片扩张较好,而中间位置的晶片扩张距离达不到0.6mm,导致蓝膜中间位置的晶片扩张不均匀;传统的扩晶工作台上只进行一次扩晶工作,扩晶的工作效率有待提高的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种带有切割功能的LED晶片扩张机,包括扩晶装置、切割装置和固定组件,所述扩晶装置包括工作台和上压盖,所述上压盖底部与工作台表面贴合连接进行扩晶,所述工作台内部设有切割装置和下气缸,所述工作台底部与切割装置固定连接,所述工作台顶部与下气缸固定连接,所述上压盖内部设有固定组件,所述固定组件包括上压环和固定盘,所述固定盘底部设有若干个凸块,所述上压环顶部与固定盘底部固定连接;
利用切割装置可以在完成晶片扩张后,对多余的膜片进行修剪,使得扩晶和修剪一体化,不需要分步进行,有利于节省时间提高效率,固定组件使得蓝膜中间位置的晶片扩张均匀,同时使得中间位置被扩晶的晶片不会回缩,起到固定晶片的效果,有利于蓝膜的固定成型。
进一步的,所述凸块底部与上压环底部位于同一水平面上;
凸块底部与上压环底部一起同时与工作台贴合连接进行扩晶,中间凸块的设计使得扩晶内环中间的晶片可以有效地扩张,解决了中间位置晶片扩张不均匀的问题,同时,在加热完成晶片扩张后,可以对中间位置的晶片膜进行固定,防止变形回缩。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造