[实用新型]组合传感器和电子设备有效
申请号: | 202022415371.X | 申请日: | 2020-10-26 |
公开(公告)号: | CN213834527U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 孟晗;刘兵 | 申请(专利权)人: | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
主分类号: | B81B7/00 | 分类号: | B81B7/00;B81B7/02;G01N33/00;G01N27/12;G01C21/10 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266100 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组合 传感器 电子设备 | ||
本实用新型公开一种组合传感器和电子设备,其中,所述组合传感器包括基板、气体传感器、惯性传感器及塑封层,所述基板具有第一表面;所述气体传感器包括气体传感器芯片,所述气体传感器芯片设于所述第一表面,且与所述基板电连接;所述惯性传感器包括惯性传感器芯片,所述惯性传感器芯片设于所述第一表面,并与所述气体传感器芯片间隔设置;所述塑封层覆盖所述第一表面,并包覆所述气体传感器和惯性传感器。本实用新型技术方案的组合传感器可实现小型化设计。
技术领域
本实用新型涉及封装技术领域,特别涉及一种组合传感器和电子设备。
背景技术
可穿戴设备作为消费类电子的一大热点,其能同时实现多种传感功能的趋势也愈实用新型显。如通过惯性传感器来记录户外运动状态的同时,利用气体传感器来监测运动坏境。但是由于气体传感器与惯性器件的工作原理以及结构的不同,使得惯性传感器与气体传感器目前只能以分立的方式进行封装,然而这种封装方式会导致产品尺寸空间增大、封装成本增加、组装效率降低。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种组合传感器,旨在解决气体传感器与惯性传感器分立封装带来的尺寸大、成本高的问题。
为实现上述目的,本实用新型提出的组合传感器包括:
基板,所述基板具有第一表面;
气体传感器,所述气体传感器包括气体传感器芯片,所述气体传感器芯片设于所述第一表面,且与所述基板电连接;
惯性传感器,所述惯性传感器包括惯性传感器芯片,所述惯性传感器芯片设于所述第一表面,并与所述气体传感器芯片间隔设置;及
塑封层,所述塑封层覆盖所述第一表面,并包覆所述气体传感器和惯性传感器。
可选的实施例中,所述基板对应所述气体传感器的位置开设有进气孔,所述气体传感器芯片朝向所述进气孔的表面形成有避让槽,所述避让槽内设有感应件。
可选的实施例中,所述感应件与所述进气孔正对设置,且所述感应件的表面垂直于所述进气孔的轴线方向。
可选的实施例中,所述气体传感器芯片包括电连接的气体MEMS芯片和气体ASIC芯片,所述气体MEMS芯片形成有所述避让槽,所述气体ASIC芯片设于所述气体MEMS芯片背离所述基板的表面。
可选的实施例中,所述惯性传感器芯片包括电连接的惯性MEMS芯片和惯性ASIC芯片,所述惯性MEMS芯片设于所述第一表面,所述惯性ASIC芯片设于所述惯性MEMS芯片背离所述基板的表面。
可选的实施例中,所述惯性ASIC芯片通过金属线分别电连接所述基板和所述惯性MEMS芯片;和/或,
所述气体ASIC芯片通过金属线分别电连接所述基板和所述气体MEMS芯片。
可选的实施例中,所述惯性MEMS芯片与所述第一表面的连接方式为粘接,所述惯性ASIC芯片与所述惯性MEMS芯片的连接方式为粘接;和/或,
所述气体MEMS芯片与所述第一表面的连接方式为粘接,所述气体ASIC芯片与所述气体MEMS芯片的连接方式为粘接。
可选的实施例中,所述组合传感器还包括隔热板,所述隔热板设于所述气体传感器与所述惯性传感器之间,所述隔热板相对的两侧分别抵接所述第一表面和所述塑封层的顶部。
可选的实施例中,所述隔热板的材质为石棉、玻璃纤维或泡沫。
本实用新型又提出一种电子设备,包括壳体和设于所述壳体内的组合传感器,所述组合传感器为如上所述的组合传感器。
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