[实用新型]一种硅片取放装置

权利要求书

1.一种硅片取放装置，其特征在于，包括固定座和动力源，所述固定座上可移动地连接有驱动板，所述驱动板上连接有移动板，所述移动板上连接有用于吸附所述硅片的吸附装置，所述驱动板上连接有齿条，所述动力源包括伺服电机，所述伺服电机和减速机相连接，所述减速机的输出轴上连接有齿轮，所述齿轮和齿条相啮合。

2.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于，所述吸附装置包括真空波纹吸嘴和/或文丘里吸嘴，所述真空波纹吸嘴和真空发生器相连接，所述文丘里吸嘴和空气压缩机相连接。

3.如权利要求2所述的硅片取放装置，其特征在于，所述移动板上连接有吸嘴架，所述吸嘴架包括延伸臂，所述延伸臂上设置有长圆孔，所述真空波纹吸嘴上连接有定位螺栓，所述定位螺栓穿设在所述长圆孔中，所述长圆孔的长度大于所述定位螺栓的直径。

4.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于，所述固定座上连接有滑轨，所述驱动板上连接有滑块，所述滑块可滑移地连接在所述滑轨上。

5.如权利要求4所述的硅片取放装置，其特征在于，所述滑轨的两侧均设置有第一滑槽，所述滑块上设置有第二滑槽，所述第二滑槽的两侧均设置有凸块，所述滑轨可滑移地连接在所述第二滑槽内，所述凸块和所述第一滑槽一一对应，所述凸块均可滑移地连接在相应的所述第一滑槽中。

6.如权利要求4所述的硅片取放装置，其特征在于，所述固定座上还连接有用于阻止所述滑块从所述滑轨上滑脱的限位件。

7.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于，所述固定座上还连接有第一光电传感器和第二光电传感器。

8.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于，所述移动板上连接有接近传感器。

9.如权利要求8所述的硅片取放装置，其特征在于，所述接近传感器采用电容式接近传感器。

10.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于，所述移动板上连接多个所述吸附装置。