[实用新型]一种硅片取放装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片取放装置，包括固定座和动力源，固定座上可移动地连接有驱动板，驱动板上连接有移动板，移动板上连接有用于吸附硅片的吸附装置，驱动板上连接有齿条，动力源包括伺服电机，伺服电机和减速机相连接，减速机的输出轴上连接有齿轮，齿轮和齿条相啮合。本实用新型能够方便快捷地实现硅片取放，节约了大量人力，提高了硅片取放效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种硅片取放装置。

背景技术

现有的硅片加工过程中，常需对硅片进行多个工序的加工，硅片在不同工序间流转时，需对硅片进行取放，现有的硅片取放方式通常采用人工取放方式，该方式需耗费较多人力，取放效率较低，无法满足加工需求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片取放装置，能够方便快捷地实现硅片的取放，利于节约人力和提高硅片取放效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案如下：

一种硅片取放装置，包括固定座和动力源，所述固定座上可移动地连接有驱动板，所述驱动板上连接有移动板，所述移动板上连接有用于吸附所述硅片的吸附装置，所述驱动板上连接有齿条，所述动力源包括伺服电机，所述伺服电机和减速机相连接，所述减速机的输出轴上连接有齿轮，所述齿轮和齿条相啮合。

在其中一个实施方式中，所述吸附装置包括真空波纹吸嘴和/或文丘里吸嘴，所述真空波纹吸嘴和真空发生器相连接，所述文丘里吸嘴和空气压缩机相连接。

在其中一个实施方式中，所述移动板上连接有吸嘴架，所述吸嘴架包括延伸臂，所述延伸臂上设置有长圆孔，所述真空波纹吸嘴上连接有定位螺栓，所述定位螺栓穿设在所述长圆孔中，所述长圆孔的长度大于所述定位螺栓的直径。

在其中一个实施方式中，所述固定座上连接有滑轨，所述驱动板上连接有滑块，所述滑块可滑移地连接在所述滑轨上。

在其中一个实施方式中，所述滑轨的两侧均设置有第一滑槽，所述滑块上设置有第二滑槽，所述第二滑槽的两侧均设置有凸块，所述滑轨可滑移地连接在所述第二滑槽内，所述凸块和所述第一滑槽一一对应，所述凸块均可滑移地连接在相应的所述第一滑槽中。

在其中一个实施方式中，所述固定座上还连接有用于阻止所述滑块从所述滑轨上滑脱的限位件。

在其中一个实施方式中，所述固定座上还连接有第一光电传感器和第二光电传感器。

在其中一个实施方式中，所述移动板上连接有接近传感器。

在其中一个实施方式中，所述接近传感器采用电容式接近传感器。

在其中一个实施方式中，所述移动板上连接多个所述吸附装置。

本实用新型具有以下有益效果：本实施例的硅片取放装置，通过齿轮齿条机构和吸附装置的配合，能够方便快捷地实现硅片取放，节约了大量人力，提高了硅片取放效率。

附图说明

图1是本实用新型的硅片取放装置的结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大示意图；

图3是图1中硅片取放装置的另一角度的结构示意图；

图中：1、动力源，2、固定座，3、齿轮，4、齿条，5、驱动板，6、移动板，7、吸附装置，71、真空波纹吸嘴，72、文丘里吸嘴，8、吸嘴架，81、延伸臂，82、长圆孔，83、定位螺栓，9、真空发生器，10、滑轨，101、第一滑槽，11、滑块，111、第二滑槽，112、凸块，12、第一光电传感器，13、第二光电传感器，14、接近传感器，15、硅片。

具体实施方式