[实用新型]具有吹扫气流通道的气体喷射器

权利要求书

1.一种具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于，包括：

一机台，其上设有一气流凹槽，且该气流凹槽周围环设有复数晶圆承载凹槽；以及

一气体喷射头，设置于该气流凹槽上，该气体喷射头中央设置有至少一吹扫气流通道，且该吹扫气流通道突出于该气体喷射头底部，以在该气流凹槽内喷出垂直气流，令该垂直气流撞击该气流凹槽后转换为水平气流，使该水平气流喷射至该复数晶圆承载凹槽内的晶圆的边角。

2.如权利要求1所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：该气体喷射头还包括：

一喷射壳体，其内部环设有复数层冷却室，每一该冷却室的侧壁顶部设有至少一溢流开口，以连通相邻的冷却室，该吹扫气流通道设置在最内层的该冷却室中；及

复数排气管，分别设置在该复数冷却室中，且该排气管的开口外露于该喷射壳体外。

3.如权利要求2所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：该喷射壳体为阶梯状喷射壳体，令每一该冷却室的该侧壁的长度由外往内逐渐增长。

4.如权利要求2所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：每一该冷却室底部还设有一气体引流盘，垂直于该复数排气管的开口，以引流该排气管排出的气体，且该气体引流盘内具有一溢流空间，该溢流空间连通该冷却室。

5.如权利要求4所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：每一该冷却室中还设有至少一隔板，以分隔该冷却室。

6.如权利要求2所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：该气体喷射头还包括连接该喷射壳体的一转接头，该转接头包括：

一输入接头，其上设有复数输气管、至少一第一输液管及至少一第一排液管；及

一分流接头，连接该输入接头，该分流接头上设有复数气流通道、至少一第二输液管及至少一第二排液管，该复数气流通道分别连通该复数输气管，及分别连通该吹扫气流通道与该复数排气管，以输入不同气体至该吹扫气流通道与该复数排气管；该第二输液管分别连通该第一输液管及最内层该冷却室，以输入冷却液；该第二排液管分别连通该第一排液管及最外层该冷却室，以排出该冷却液。

7.如权利要求6所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：该复数气流通道上还设有复数排气开口，该复数排气开口分别连通该复数排气管。

8.如权利要求1所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：该吹扫气流通道内径小于或等于四毫米，该吹扫气流通道的管壁的厚度为2.5毫米至0.5毫米。

9.如权利要求2所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：该排气管内径小于或等于四毫米，该排气管的管壁的厚度为2.5毫米至0.5毫米。

10.如权利要求4所述的具有吹扫气流通道的气体喷射器，其特征在于：相邻的该气体引流盘之间设有一滤网。