[实用新型]可控硅芯片有效
申请号: | 202022433222.6 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN212907748U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 李晓锋;黄富强 | 申请(专利权)人: | 浙江里阳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06;H01L29/417;H01L29/423 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 郭燕;彭家恩 |
地址: | 317600 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可控硅 芯片 | ||
1.一种可控硅芯片,其特征在于,包括:
基区,所述基区为P型掺杂或N型掺杂,所述基区具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面;
第一注入区,位于所述基区的第一表面,所述第一注入区为与所述基区掺杂类型对应的N型掺杂或P型掺杂;
第二注入区,位于所述基区的第二表面,所述第二注入区为与所述基区掺杂类型对应的N型掺杂或P型掺杂;
第三注入区,位于所述第二注入区的部分表面,所述第三注入区是与所述第二注入区掺杂类型对应的P型掺杂或N型掺杂;
所述第一注入区的表面上设有阳极电极A,所述第二注入区的其余部分表面上设有门极电极G,所述第三注入区的表面设有阴极电极K;其中,所述门极电极G与所述阴极电极K朝向相同,高度低于所述阴极电极K,且所述门极电极G上具有凹槽。
2.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,所述凹槽的深度不小于100μm。
3.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,所述凹槽为通孔。
4.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,所述门极电极G的高度与所述阴极电极K的高度差大于50μm。
5.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,所述凹槽的横截面形状为圆形、多边形或十字形;所述凹槽的纵切面为倒置梯形。
6.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,还包括沟槽区,所述沟槽区环绕所述门极电极G以及所述阴极电极K的外围设置,或者,环绕所述阳极电极A的外围设置;所述沟槽区上还具有钝化层。
7.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,所述阳极电极A、所述阴极电极K以及所述门极电极G的表面具有镀银层。
8.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,所述第三注入区中具有多个短路点,所述短路点是所述第三注入区的组成部分。
9.如权利要求1所述的可控硅芯片,其特征在于,所述阳极电极A与所述第一注入区的表面之间具有焊层;所述门极电极G与所述第二注入区的其余部分表面之间具有焊层;所述阴极电极K与所述第三注入区的表面之间具有焊层。
10.如权利要求9所述的可控硅芯片,其特征在于,所述基区为N型掺杂,所述第一注入区为P型掺杂,所述第一注入区表面还具有一层P+扩散层,所述第二注入区为P型掺杂,所述第三注入区为N型重掺杂;所述焊层为金属焊层;还具有绝缘保护层,沿所述可控硅芯片的一周环绕设置,用于保护所述可控硅芯片的内部结构。
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