[实用新型]一种单晶炉副室自动清洗装置

权利要求书

1.一种单晶炉副室自动清洗装置，其特征在于，包括移动机构，升降机构，清洗机构以及控制升降机构、清洗机构运行的控制系统，所述升降机构垂直固接于移动机构内，其顶部连接有清洗机构，所述清洗机构包括旋转张紧机构和擦拭机构，所述旋转张紧机构包括摆动气缸，所述摆动气缸与升降机构的顶部垂直固接，其伸缩杆顶端水平连接有方形固定台，所述方形固定台的各边中心处分别水平连接有气缸，所述擦拭机构由四个弧形边朝外水平设置的D型无尘布安装架构成，每个D型无尘布安装架分别与对应的气缸伸缩杆端部固接，所述D型无尘布安装架上缠绕有无尘布。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉副室自动清洗装置，其特征在于，所述气缸的两侧分别平行设有一对导向杆，所述导向杆的一端插接于方形固定台内与其滑动连接，其另一端与对应的D型无尘布安装架固接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉副室自动清洗装置，其特征在于，所述移动机构为移动推车，所述移动推车由顶板，底板以及垂直固接于二者四角处的立柱构成，所述底板的底部四角处均设有带锁止结构的脚轮。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉副室自动清洗装置，其特征在于，所述升降机构为多级气动升降桅杆，所述多级气动升降桅杆的最底部一级穿过移动推车的顶板与底板固接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉副室自动清洗装置，其特征在于，所述多级气动升降桅杆与顶板，底板的连接处各设有一组加强筋。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉副室自动清洗装置，其特征在于，每组加强筋的个数为四个，形状均为直角三角形，分别均布于多级气动升降桅杆外壁与顶板上表面、底板上表面之间。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉副室自动清洗装置，其特征在于，所述顶板的一侧水平设有U型推手。