[实用新型]一种单晶炉副室自动清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉副室自动清洗装置，包括移动机构，升降机构，清洗机构以及控制系统，升降机构垂直固接于移动机构内，其顶部连接有清洗机构，清洗机构包括旋转张紧机构和擦拭机构，旋转张紧机构包括摆动气缸，摆动气缸与升降机构的顶部垂直固接，其伸缩杆顶端水平连接有方形固定台，方形固定台的各边中心处分别水平连接有气缸，擦拭机构由四个弧形边朝外水平设置的D型无尘布安装架构成，每个D型无尘布安装架分别与对应的气缸伸缩杆端部固接，D型无尘布安装架上缠绕有无尘布，本实用新型改变了传统人工清洗的方法，通过逐级伸缩，解决了空间和高度的难题，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，清洗效果好。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉副室自动清洗装置。

背景技术

单晶硅是太阳能电池、半导体芯片的重要材料，单晶硅的制备方法主要是直拉法，采用单晶炉实现，其工艺流程包括抽真空、检漏、压力化、熔料、稳定、熔接、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉等工艺。单晶炉副室的洁净程度对单晶硅的品质具有极大的影响，目前，对传统的单晶炉副室的清洗通常都是人工手持特制的长杆，在长杆顶端缠绕上清洗布，通过长杆的上下运动来实现。但是，由于副室高度较高，已经由原来的3米逐渐出现了高达近10米的单晶炉副室。单晶炉副室的清洗工作是个体力活，清洗时通常需要长达近7，8米长的长杆，受长杆重量和长度的限制，人工已经难以操作，而且长杆太长，在有限的空间内作业很不方便，不仅不易清洗，而且清洗效果受个人情绪因素制约，清洗过后可能会遗留很多清洗不到的死角，清洗效果很不稳定。这对于拉单晶硅棒的质量管控来讲，是一个比较头痛的问题。加之目前各个工厂的单晶炉数量急剧增加，清洗工作对工人的需求量也随之增加，人力成本大幅提高。因此，急需开发一种单晶炉副室自动清洗装置以解决上述技术问题。

有鉴于此，特提出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉副室自动清洗装置，改变了传统人工清洗的方法，通过逐级伸缩，解决了空间和高度的难题，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，清洗效果好，具有广阔的应用前景，有利于推广应用。

为了实现上述目的，本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置，包括移动机构，升降机构，清洗机构以及控制升降机构、清洗机构运行的控制系统，所述升降机构垂直固接于移动机构内，其顶部连接有清洗机构，所述清洗机构包括旋转张紧机构和擦拭机构，所述旋转张紧机构包括摆动气缸，所述摆动气缸与升降机构的顶部垂直固接，其伸缩杆顶端水平连接有方形固定台，所述方形固定台的各边中心处分别水平连接有气缸，所述擦拭机构由四个弧形边朝外水平设置的D型无尘布安装架构成，每个D型无尘布安装架分别与对应的气缸伸缩杆端部固接，所述D型无尘布安装架上缠绕有无尘布。

优选地，所述气缸的两侧分别平行设有一对导向杆，所述导向杆的一端插接于方形固定台内与其滑动连接，其另一端与对应的D型无尘布安装架固接。

优选地，所述移动机构为移动推车，所述移动推车由顶板，底板以及垂直固接于二者四角处的立柱构成，所述底板的底部四角处均设有带锁止结构的脚轮。

优选地，所述升降机构为多级气动升降桅杆，所述多级气动升降桅杆的最底部一级穿过移动推车的顶板与底板固接。

优选地，所述多级气动升降桅杆与顶板，底板的连接处各设有一组加强筋。

优选地，每组加强筋的个数为四个，形状均为直角三角形，分别均布于多级气动升降桅杆外壁与顶板上表面、底板上表面之间。

优选地，所述顶板的一侧水平设有U型推手。

本实用新型提供的一种单晶炉副室自动清洗装置，具有如下有益效果。

1．本实用新型改变了传统人工清洗的方法，通过逐级伸缩，解决了空间和高度的难题，体积较小，操控灵活，安全可靠，工作效率高，清洗效果好，具有广阔的应用前景，有利于推广应用。