[实用新型]一种光刻机用陶瓷吸盘有效
| 申请号： | 202022435130.1 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN213715699U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 高岩;张德胜 | 申请（专利权）人： | 大连榕树光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 赵芳蕾 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 陶瓷 吸盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体(1)，其特征在于：所述吸盘主体(1)前侧设置有应力消除机构；
所述应力消除机构包括第一凹槽(2)、第二凹槽(3)、第三凹槽(4)和第四凹槽(7)；所述吸盘主体(1)内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽(2)，且多个第一凹槽(2)外侧均对应开设有第二凹槽(3)，所述第二凹槽(3)外侧对应设置有第三凹槽(4)，所述第二凹槽(3)和第三凹槽(4)均位于吸盘主体(1)前侧，所述第一凹槽(2)、第二凹槽(3)和第三凹槽(4)内壁均等距开设有多个第四凹槽(7)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述第一凹槽(2)、第二凹槽(3)和第三凹槽(4)内部均固定连接有支撑杆(5)。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘主体(1)中部开设有吸盘孔(6)。
4.根据权利要求2所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘主体(1)和支撑杆(5)均为陶瓷材质。
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