[实用新型]一种光刻机用陶瓷吸盘

说明书

本实用新型公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体，所述吸盘主体前侧设置有应力消除机构；所述应力消除机构包括第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽；所述吸盘主体内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽，且多个第一凹槽外侧均对应开设有第二凹槽，所述第二凹槽外侧对应设置有第三凹槽。本实用新型通过吸盘主体上的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽，在吸盘主体上内壁的多个位置，先设置大的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，消除一部分应力，然后再在第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内壁上设置多个小型的第四凹槽，不仅可以提升消除应力的效果，还能够避免多个小型凹槽在吸盘表面，容易损坏的问题。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机用陶瓷吸盘。

背景技术

高端光刻机在工件台等系统采用陶瓷材料，是为解决运动及测量的高精度要求。应用于光刻机的吸盘为一种采用陶瓷制作的中空结构，吸盘通过接管与真空设备连接，然后与大尺寸硅片接触，启动真空抽吸，使吸盘内产生负压，从而将硅片吸牢。现有的陶瓷吸盘结构在制作过程中，由于陶瓷烧结过程中产生内应力，使吸盘变形，很难满足产品的使用要求。

专利号CN201420681477.6，公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；还包括：第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。本实用新型在本体的内部筋板上设有凹槽，凹槽可以释放陶瓷材料内部的应力，既满足产品的使用要求，又避免在吸盘的制作过程中，因陶瓷烧结过程中产生的内应力使吸盘变形。

目前，现有的光刻机用陶瓷吸盘还存在着一些不足的地方，例如；现有的光刻机用陶瓷吸盘，设置多个凹槽，容易导致吸盘强度降低，而且凹槽在吸盘内表面，容易在烧结的过程中，裂开损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机用陶瓷吸盘，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体，所述吸盘主体前侧设置有应力消除机构；

所述应力消除机构包括第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽；所述吸盘主体内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽，且多个第一凹槽外侧均对应开设有第二凹槽，所述第二凹槽外侧对应设置有第三凹槽，所述第二凹槽和第三凹槽均位于吸盘主体前侧，所述第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内壁均等距开设有多个第四凹槽。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内部均固定连接有支撑杆。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述吸盘主体中部开设有吸盘孔。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述吸盘主体和支撑杆均为陶瓷材质。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型通过吸盘主体上的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽，在吸盘主体上内壁的多个位置，先设置大的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，消除一部分应力，然后再在第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内壁上设置多个小型的第四凹槽，不仅可以提升消除应力的效果，还能够避免多个小型凹槽在吸盘表面，容易损坏的问题，有利于更为实用的使用一种光刻机用陶瓷吸盘。

2.本实用新型通过第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内部的支撑杆，可以利用支撑杆分别支撑第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，从而增加吸盘的整体强度，避免了凹槽影响吸盘的强度，有利于更为实用的使用一种光刻机用陶瓷吸盘。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：