[实用新型]一种光刻机用晶圆片匀胶装置有效
| 申请号： | 202022435138.8 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN213715698U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 卫广连;叶东国;付志江 | 申请（专利权）人： | 大连榕树光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 赵芳蕾 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机用晶圆片匀胶 装置 | ||
1.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于，包括工作台(1)；
所述工作台(1)的左端固定安装有控制开关(2)，所述控制开关(2)的内部设置有PLC控制器(3)，所述工作台(1)的上端中部固定安装有收集罩(4)，所述工作台(1)的内腔上端中部固定安装有电机(6)，所述电机(6)的上端设置有传动杆(7)；
所述电机(6)的电机轴输出端与传动杆(7)传动连接，所述传动杆(7)贯穿工作台(1)和收集罩(4)固定连接有真空吸盘(8)，所述收集罩(4)的内腔下端中部设置有密封圈(9)，所述密封圈(9)的左侧设置有直杆(10)，所述直杆(10)的下端与收集罩(4)固定连接，所述直杆(10)的左侧上端固定安装有液位传感器(11)，所述收集罩(4)下端的左右两侧均连通有排液管(12)，所述工作台(1)的上端右侧固定安装有喇叭(13)。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述收集罩(4)的内腔粘合有多组橡胶条(5)，且所述橡胶条(5)的剖面呈半圆形。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述密封圈(9)的内腔与传动杆(7)的外侧壁贴合，且所述密封圈(9)采用耐腐橡胶制成。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述液位传感器(11)的数据输出端与PLC控制器(3)的数据输入端连接，所述PLC控制器(3)的信号输出端与喇叭(13)的信号输入端连接。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述控制开关(2)经外部电源分别与电机(6)和喇叭(13)电性连接。
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