[实用新型]冷却板、冷却模块及工艺系统

权利要求书

1.一种冷却板，经配置以承载待降温物，其特征在于，所述冷却板包括：

板体，其具有承载面，所述承载面具有两侧边区域、及位于所述侧边区域之间的中央区域；

第一流道结构，分布在所述侧边区域，经配置以输送第一相态的流体，所述第一流道结构具有多个分布在所述两个侧边区域且开口形成在所述板体的所述承载面的喷口，所述喷口的设置位置避开所述中央区域；及

第二流道结构，埋设于所述板体且对应所述中央区域，经配置以输送第二相态的流体；

其中，在正交于所述侧边区域的方向上，所述板体的宽度小于所述待降温物的宽度。

2.根据权利要求1所述的冷却板，其特征在于，所述板体具有

主板层，具有第一导热材料，其中，所述第二流道结构被设在所述主板层中；

上板层，设于所述主板层上，具有第二导热材料；及

其中，所述第一导热材料的导热系数小于所述第二导热材料的导热系数。

3.根据权利要求2所述的冷却板，其特征在于所述主板层及所述上板层之间的厚度比在4到5之间。

4.一种冷却系统，配置来冷却待降温物，其特征在于，所述冷却系统包含：

冷却模块，包括用来承载所述待降温物的冷却板，所述冷却板具有两侧边区域、及位于所述侧边区域之间的中央区域；

感测模块，经配置以感测所述冷却板所在环境的温度及湿度状态其中至少一者，并产生感测结果；及

处理模块，信号连接所述感测模块及所述冷却模块，配置来根据来自所述感测模块的感测结果，获得所述环境的露点温度条件，并控制所述冷却模块的温度设定，使所述冷却板的温度状态不高于所述环境的露点温度，借此使冷却板凝露。

5.根据权利要求4所述的冷却系统，其特征在于，

其中，所述冷却板还形成有流道结构；

其中，所述冷却模块还包含流体供应系统，经配置以提供流体至所述冷却板的所述流道结构；及

其中，所述处理模块还信号连接所述流体供应系统，经配置以根据所述感测结果控制所述流体供应系统的流体输出。

6.根据权利要求5所述的冷却系统，其特征在于，

其中，所述冷却板形成有多个与所述流体供应系统流体连通且开口向上的喷口；

其中，所述喷口的位置避开冷却板的中央区域；

其中，所述喷口被设置为当所述冷却板承载所述待降温物时，得以被所述待降温物覆盖；及

其中，所述处理模块还配置来使所述流体供应系统在所述冷却板接收所述待降温件期间释放流体至所述喷口。

7.一种工艺系统，配置来对工件进行工艺，其特征在于，所述工艺系统包含

工站，包括入口端及出口端，经配置以自该入口端接收所述工件，并由该出口端将所述工件移出该工站；

回流设备，包括设置在该工站外的回流轨道，所述回流轨道经配置以使所述工件自所述出口端往所述入口端移动；及

冷却模组，设于所述回流轨道且与外界环境流体连通，所述冷却模组包括

冷却板，具有经配置以接触所述工件的冷却面，所述冷却面定义有两侧边区域、及位于所述侧边区域之间的中央区域；及

液态界面生成模块，设于所述冷却板，且经配置以在所述冷却面及所述工件之间生成液态界面。

8.根据权利要求7所述的工艺系统，其特征在于，所述液态界面生成模块包含流体拘束模块，其经配置以拘束位于所述冷却面的流体。

9.根据权利要求8所述的工艺系统，其特征在于，所述流体拘束模块具有

多个喷口，其开口朝上且分布在所述冷却板的外围区域且避开所述中央区域而设置；及

流体供应系统，经配置以在所述冷却板接收所述工件期间提供流体至所述喷口；

其中，所述喷口被配置为当所述工件被所述冷却板承载时，被所述工件覆盖。

10.根据权利要求7所述的工艺系统，其特征在于，还包括：

驱动机构，经配置以驱动所述冷却板的升降移动；

其中，所述回流轨道具有多个输送轮，经配置以输送所述工件；

其中，所述冷却板形成有多个从其外缘向内凹陷的凹口；及

其中，所述凹口投影地重叠于所述输送轮。