[实用新型]一种光刻机用硅片盛放盒有效
| 申请号： | 202022440767.X | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN213716854U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 高岩;叶东国;付志江 | 申请（专利权）人： | 大连榕树光学有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 赵芳蕾 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 硅片 盛放 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：包括盒体(1)；
所述盒体(1)前后两壁内侧均开设有滑槽(10)，所述盒体(1)内设置有若干组均匀阵列的活动板(5)，所述活动板(5)前后两侧中部均固定设置有滑块(9)，且滑块(9)置于同侧的滑槽(10)内，所述活动板(5)左右两外壁均固定设置有海绵垫b(3)，所述盒体(1)底壁内表面固定设置有海绵垫a(2)，所述盒体(1)内底壁右侧中部固定设置有螺块(6)，所述螺块(6)内中部通过螺纹旋接有螺杆(7)；
每两组相邻的所述滑块(9)之间均设置有弹簧(8)，所述弹簧(8)两端分别与同侧的滑块(9)连接。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述活动板(5)下端面与海绵垫a(2)上端面的间距为2cm。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述盒体(1)前后两外壁顶部均固定设置有把手(4)，且把手(4)上设置有防滑垫。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述螺杆(7)右端固定设置有转块。
5.根据权利要求1所述的一种光刻机用硅片盛放盒，其特征在于：所述弹簧(8)为不锈钢材质制品。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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