[实用新型]一种光刻机用硅片盛放盒

说明书

本实用新型涉及硅片生产技术领域，公开了一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体，所述盒体前后两壁内侧均开设有滑槽，所述盒体内设置有若干组均匀阵列的活动板，所述活动板前后两侧中部均固定设置有滑块，且滑块置于同侧的滑槽内，所述活动板左右两外壁均固定设置有海绵垫b，所述盒体底壁内表面固定设置有海绵垫a。本实用新型通过设置有活动板和螺杆，将多组硅片置于多组活动板一侧，可通过活动板的滑块在滑槽内横向水平移动，正反向转动螺杆，螺杆左移，并带动多组活动板朝向左侧移动，直至活动板挤压定位同侧的硅片，该方式无需逐一定位硅片，使硅片定位更便捷，且活动板可调移式设置，适用于不同厚度的硅片夹持，通用性强。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体为一种光刻机用硅片盛放盒。

背景技术

硅片切割生产后，需要将硅片放置在盒中备用。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。而光刻机对硅片进行表面光刻时，需要将硅片从硅片盛放盒中逐片取出，对其光刻加工。

经检索(申请号：CN201621471181.7)，一种用于盛放硅片的盒子，包括盒体，该盒体设有一开口向上的容纳腔，所述容纳腔内平行的固设有多个立板，该多个立板将容纳腔分隔成多个硅片放置腔，硅片放置腔内设有压板，所述压板平行立板设置，该压板外侧面通过若干弹簧安装在该硅片放置腔所对应的一个立板上，每个压板设有海绵缓冲块；所述每个硅片放置腔底部设有软胶缓冲层及保护层。

在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中存在如下问题没有得到解决：该装置采用压板及弹簧夹持定位一侧的硅片，以免转移加工期间出现晃动磨损，但是多组硅片定位时，需工作人员逐一对其定位，费时费力，同样在挑取指定硅片及置放硅片时，需工作人员逐一拨开压板，间接影响硅片加工效率等等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机用硅片盛放盒，通过设置有活动板和螺杆，将多组硅片置于多组活动板一侧，可通过活动板的滑块在滑槽内横向水平移动，正反向转动螺杆，螺杆左移，并带动多组活动板朝向左侧移动，直至活动板挤压定位同侧的硅片，该方式无需逐一定位硅片，使硅片定位更便捷，且活动板可调移式设置，适用于不同厚度的硅片夹持，通用性强，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机用硅片盛放盒，包括盒体；

所述盒体前后两壁内侧均开设有滑槽，所述盒体内设置有若干组均匀阵列的活动板，所述活动板前后两侧中部均固定设置有滑块，且滑块置于同侧的滑槽内，所述活动板左右两外壁均固定设置有海绵垫b，所述盒体底壁内表面固定设置有海绵垫a，所述盒体内底壁右侧中部固定设置有螺块，所述螺块内中部通过螺纹旋接有螺杆；

每两组相邻的所述滑块之间均设置有弹簧，所述弹簧两端分别与同侧的滑块连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述活动板下端面与海绵垫a上端面的间距为2cm。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述盒体前后两外壁顶部均固定设置有把手，且把手上设置有防滑垫。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述螺杆右端固定设置有转块。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述弹簧为不锈钢材质制品。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型一种光刻机用硅片盛放盒，通过设置有活动板和螺杆，将多组硅片置于多组活动板一侧，可通过活动板的滑块在滑槽内横向水平移动，正反向转动螺杆，螺杆左移，并带动多组活动板朝向左侧移动，直至活动板挤压定位同侧的硅片，该方式无需逐一定位硅片，使硅片定位更便捷，且活动板可调移式设置，适用于不同厚度的硅片夹持，通用性强。